耐食性部材

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996201567
Publication number (International publication number)：1997235685
Application date： Jul. 31, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】従来から用いられているガラス、石英、ステンレス、アルミナなどのセラミックスでは、エッチングで表面性状が変化したり、腐食によってパーティクルが発生し、コンタミネーションの原因となっていた。【解決手段】ハロゲン系腐食ガス或いはそのプラズマに曝される耐食性部材における少なくとも前記腐食ガスやプラズマに直接接触する部位を、該耐食性部材の使用温度よりも高融点の金属ハロゲン化物からなるか、または前記ガスおよび/またはプラズマとの反応によって、該耐食性部材の使用温度よりも高融点の金属ハロゲン化物を形成し得る金属或いはその化合物からなり、且つ前記腐食ガス及びプラズマとの反応によって前記使用温度よりも低融点の金属ハロゲン化物を形成し得るSi、B、Mo及びWなどの金属あるいはその化合物の含有量が金属換算で1重量%以下の部材によって構成する。

Claim (excerpt)：

ハロゲン系腐食ガス或いはそのプラズマに曝される耐食性部材における少なくとも前記腐食ガスやプラズマに直接接触する部位が、該耐食性部材の使用温度よりも高融点の金属ハロゲン化物からなるか、または前記ガスおよび/またはプラズマとの反応によって該耐食性部材の使用温度よりも高融点の金属ハロゲン化物を形成し得る金属或いはその化合物からなり、且つ前記腐食ガス及びプラズマとの反応によって前記使用温度よりも低融点の金属ハロゲン化物を形成し得る金属あるいはその化合物の含有量が金属換算で1重量%以下であることを特徴とする耐食性部材。

IPC (3)：

C23F 4/00 , C23C 16/44 , C23C 16/50

FI (3)：

C23F 4/00 A , C23C 16/44 B , C23C 16/50

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

化学的攻撃ガス環境に露出されるプラズマ処理室の加熱金属表面用セラミック保護及びその加熱金属表面の保護方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-056134 Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
特開平2-017684
混合方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-236034 Applicant：コニカ株式会社, 株式会社コニカケミカル

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