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J-GLOBAL ID：200903061228249127

ポジ型感放射線性組成物

Inventor：
田村 一貴

About 田村 一貴


Applicant, Patent owner：
東レ株式会社

About 東レ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999235290
Publication number (International publication number)：2000147777
Application date： Aug. 23, 1999
Publication date： May. 26, 2000
Summary：
【要約】【課題】サブクォーターミクロンのパターン加工が可能な解像度を持ち、高感度なポジ型感放射線性組成物を得る。【解決手段】酸の作用によってアルカリ水溶液に対する溶解性が増大する重合体、および放射線の照射によって酸を発生する化合物を含むポジ型感放射線性組成物であって、該重合体の放射線による主鎖切断の起こり易さがポリメチルメタクリレートより大きいことを特徴とするポジ型感放射線性組成物。またはアルカリ可溶性重合体、該アルカリ可溶性重合体のアルカリ可溶性を抑制する効果を持ち該抑制効果が酸の作用によって低下または消失する化合物、および放射線の照射によって酸を発生する化合物を含むポジ型感放射線性組成物であって、該アルカリ可溶性重合体の放射線による主鎖切断の起こり易さがポリメチルメタクリレートより大きいことを特徴とするポジ型感放射線性組成物。
Claim (excerpt)：
酸の作用によってアルカリ水溶液に対する溶解性が増大する重合体、および放射線の照射によって酸を発生する化合物を含むポジ型感放射線性組成物であって、該重合体の放射線による主鎖切断の起こり易さがポリメチルメタクリレートより大きいことを特徴とするポジ型感放射線性組成物。
IPC (3)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/027 502 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/027 502 ,  H01L 21/30 502 R
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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