感光性材料

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995185046
Publication number (International publication number)：1996082925
Application date： Jun. 29, 1995
Publication date： Mar. 26, 1996
Summary：

【要約】【目的】単波長光源に対して透明性が優れ、かつ十分なドライエッチング耐性を有する感光性材料を提供する。【構成】テルペノイド骨格を有する化合物を含有する感光性材料である。前記テルペノイド骨格は、下記化1に示す一般式(1)で表される1価のメンチル基またはメンチル誘導体基を有する化合物を含むことが好ましい。【化1】(上記一般式(1)中、Rは、水素原子または1価の炭化水素基である。R1は、互いに同一であっても異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭化水素基、水酸基、アルコキシル基、アミノ基、イミド基、アミド基、スルホニル基、カルボキシル基、カルボニル基、スルホンアミド基であり、R1同士は、互いに結合して環を形成していてもよい。)

Claim (excerpt)：

テルペノイド骨格を有する化合物を含有することを特徴とする感光性材料。

IPC (7)：

G03F 7/004 503 , C08F 20/16 MMG , C08F 22/12 MMJ , C08L 33/06 LHT , G03F 7/038 505 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-188327 Applicant：株式会社東芝
パターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-052757 Applicant：株式会社東芝
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-054398 Applicant：株式会社東芝

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Cited by examiner (7)

感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-188327 Applicant：株式会社東芝
パターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-052757 Applicant：株式会社東芝
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-054398 Applicant：株式会社東芝

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