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J-GLOBAL ID:200903061438399326
ZnO単結晶の製造方法およびそれによって得られた自立ZnO単結晶ウエファー
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (5):
小林 浩
, 片山 英二
, 田村 恭子
, 杉山 共永
, 鈴木 康仁
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2008080639
Publication number (International publication number):2009234825
Application date: Mar. 26, 2008
Publication date: Oct. 15, 2009
Summary:
【課題】Li濃度が低い自立ZnO単結晶を提供する。【解決手段】溶質であるZnOと溶媒とを混合して融解させた後、得られた融液8に、種結晶基板7を直接接触させ、種結晶基板7を連続的あるいは間欠的に引上げることによって、液相エピタキシャル成長法によりZnO単結晶を種結晶基板7上に成長させることができる。ZnO単結晶を成長させた後、基板7を研磨またはエッチングで除去し、単結晶の液相エピタキシャル成長した-c面側を研磨あるいはエッチングすることにより、自立ZnO単結晶を得ることができる。【選択図】図3
Claim (excerpt):
溶質であるZnOと溶媒とを混合して融解させた後、得られた融液に、種結晶基板を直接接触させる工程と、前記種結晶基板を連続的あるいは間欠的に引上げることによってZnO単結晶を前記種結晶基板上に成長させる工程と、を有することを特徴とする液相エピタキシャル成長法によるZnO単結晶の製造方法。
IPC (4):
C30B 29/16
, C30B 19/02
, C30B 33/00
, H01L 21/208
FI (4):
C30B29/16
, C30B19/02
, C30B33/00
, H01L21/208 D
F-Term (30):
4G077AA02
, 4G077AB01
, 4G077AB02
, 4G077BB07
, 4G077CG02
, 4G077CG06
, 4G077EB01
, 4G077EC08
, 4G077EH05
, 4G077EH09
, 4G077FG11
, 4G077FJ03
, 4G077HA02
, 4G077HA05
, 4G077HA06
, 4G077HA11
, 4G077HA12
, 4G077QA04
, 4G077QA12
, 4G077QA26
, 4G077QA27
, 4G077QA32
, 5F053AA03
, 5F053BB04
, 5F053DD20
, 5F053FF01
, 5F053GG01
, 5F053HH01
, 5F053HH04
, 5F053LL01
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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酸化亜鉛基積層構造体及びその製造法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-209145
Applicant:独立行政法人物質・材料研究機構
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高純度酸化亜鉛単結晶の製造方法および高純度酸化亜鉛単結晶
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-025983
Applicant:東京電波株式会社, 三菱化学株式会社
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国際公開第2007/100146号パンフレット
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半導体素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-230365
Applicant:シャープ株式会社, 川崎雅司
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Cited by examiner (5)
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