ダイヤモンド膜及びその製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤巻正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006112729
Publication number (International publication number)：2007284285
Application date： Apr. 14, 2006
Publication date： Nov. 01, 2007
Summary：

【課題】結晶面の面内配向性を揃えることができると共に、ダイヤモンド膜の反り(ワープ)を低減することができる高配向性ダイヤモンド膜及びその製造方法を提供する【解決手段】基板上に(100)高配向膜又は(100)単結晶ダイヤモンド膜を気相合成した後、前記基板を除去して形成した一次ダイヤモンド膜と、前記一次ダイヤモンド膜が前記基板と接触していた面(裏面)に(100)配向成長条件で成長された二次ダイヤモンド膜とを有し、前記配向成長した二次ダイヤモンド膜が(100)結晶面が配向成長した高配向膜、(100)配向した無粒界膜、又は(100)配向した単結晶膜のいずれかである。また、(111)高配向性膜の場合も同様である。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

基板上に(100)高配向膜又は(100)単結晶ダイヤモンド膜を気相合成した後、前記基板を除去して形成した一次ダイヤモンド膜と、前記一次ダイヤモンド膜が前記基板と接触していた面(裏面)に(100)配向成長条件で成長された二次ダイヤモンド膜とを有し、前記配向成長した二次ダイヤモンド膜が(100)結晶面が配向成長した高配向膜、(100)配向した無粒界膜、又は(100)配向した単結晶膜のいずれかであることを特徴とするダイヤモンド膜。

IPC (2)：

C30B 29/04 , C23C 16/27

FI (2)：

C30B29/04 N , C23C16/27

F-Term (24)：

4G077AA03 , 4G077AB02 , 4G077BA03 , 4G077DB01 , 4G077ED06 , 4G077EF02 , 4G077FJ03 , 4G077TA04 , 4G077TB01 , 4G077TC13 , 4G077TC17 , 4G077TK01 , 4G077TK11 , 4K030AA10 , 4K030AA14 , 4K030AA17 , 4K030BA27 , 4K030BB02 , 4K030CA02 , 4K030CA04 , 4K030DA02 , 4K030FA01 , 4K030HA04 , 4K030HA07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

配向性ダイヤモンド膜及びその形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-190904 Applicant：株式会社神戸製鋼所
特表平7-506799号公報
単結晶ダイヤモンド膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-315975 Applicant：株式会社神戸製鋼所

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