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J-GLOBAL ID：200903063002232640

硬質炭素薄膜及びその製造方法

Inventor： 平野 均 ,  蔵本 慶一 ,  堂本 洋一
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 目次 誠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997259833
Publication number (International publication number)：1999100294
Application date： Sep. 25, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高い膜硬度を有し、かつ基板等の下地層に対する密着性に優れた硬質炭素被膜及びその製造方法を得る。【解決手段】 基板1上に設けられる硬質炭素薄膜において、薄膜2を構成する炭素原子のSP2 /SP3 比が基板1側から表面側に向かって減少する傾斜構造を有することを特徴としている。

Claim (excerpt)：

薄膜を構成する炭素原子のSP2 結合/SP3 結合の比が下地側から表面側に向かって減少する傾斜構造を有することを特徴とする硬質炭素薄膜。

IPC (5)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/314

FI (5)：

C30B 29/04 B ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/314 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

• 特開平1-294867
  
• 硬質炭素被膜及びその形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-095514   Applicant：三洋電機株式会社
• ダイヤモンドライクカーボン厚膜の作製方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-213535   Applicant：株式会社サムコインターナショナル研究所
• ダイヤモンド複合膜およびダイヤモンド複合膜付部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-236508   Applicant：京セラ株式会社
• ダイヤモンド様薄膜の保護膜付き物品
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-308264   Applicant：テイーデイーケイ株式会社
• 特開平1-157412
  
• 硬質炭素膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-262445   Applicant：住友電気工業株式会社
• ダイヤモンド膜の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-172557   Applicant：株式会社日本自動車部品総合研究所
• 単結晶ダイヤモンド膜の合成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-140651   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 特開平2-107773