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J-GLOBAL ID：200903063755475359

探針装置

Inventor： 松本 卓也 ,  大塚 洋一 ,  内藤 泰久 ,  川合 知二
Applicant, Patent owner： 大阪大学長
Agent (6)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  中村 誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002245811
Publication number (International publication number)：2004085321
Application date： Aug. 26, 2002
Publication date： Mar. 18, 2004
Summary：

【課題】ナノスケール構造を持つ試料の局所的電気伝導性を信頼性よく行う技術を提供すること。【解決手段】試料(20)の表面に対向配置される探針(10a)を備えたカンチレバー(10)を備え、前記カンチレバーを振動させて前記試料の表面構造を測定するタッピングモードと、前記探針を前記試料に接触させて前記試料の電気特性を測定する点接触モードとにより前記試料の構造或いは電気特性が測定可能な探針装置において、前記タッピングモードと、前記点接触モードとを、所定の周期で切り替えながら前記試料の測定を行う。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

試料の表面に対向配置される探針を備えたカンチレバーを備え、前記カンチレバーを振動させて前記試料の表面構造を測定するタッピングモードと、前記探針を前記試料に接触させて前記試料の電気特性を測定する点接触モードとにより前記試料の構造或いは電気特性が測定可能な探針装置において、 前記タッピングモードと、前記点接触モードとを、所定の期間で切り替えながら前記試料の測定を行うことを特徴とする探針装置。

IPC (2)：

G01N13/16 ,  G12B21/08

FI (2)：

G01N13/16 C ,  G12B1/00 601D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 音波送受信装置及び音波送受信方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-315012   Applicant：株式会社日本自動車部品総合研究所, トヨタ自動車株式会社
• 音響インピーダンス測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-178861   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 位置決め装置および位置決め方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-019001   Applicant：日産自動車株式会社
• 移動装置、原稿読取装置及び原稿読取方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-212433   Applicant：キヤノン株式会社