セラミックス部材およびその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松山允之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001156774
Publication number (International publication number)：2002087894
Application date： May. 25, 2001
Publication date： Mar. 27, 2002
Summary：

【要約】【課題】高い耐プラズマ性を有するとともに、曲げ強度や強靱性などの機械的な性質も優れた低コスト型のセラミックス部材および製造方法の提供。【解決手段】製造方法の発明は、平均粒径0.1〜1.0μmのアルミナ粒子に、少なくともマグネシアを0.01〜1重量%およびイットリウムを含む溶液をイットリアに換算して0.1〜15重量%が添加配合された原料粉を作製する工程と、前記原料粉を成形し、その成形体に仮焼処理を施す工程と、前記仮焼処理した成形体に、水素ガスを含む雰囲気中で加熱処理を施して、イットリウムアルミニウムガーネットを生成させ、かつ表面へ浸出させ成膜化するとともに成形体を燒結する工程とを有することを特徴とするセラミックス部材の製造方法である。

Claim (excerpt)：

実質的にアルミナ焼結体から成る基材と、前記基材表面に形成された厚さ2μm以上のイットリウムアルミニウムガーネット層とを有することを特徴とするセラミックス部材。

IPC (2)：

C04B 41/87 , C04B 35/10

FI (2)：

C04B 41/87 A , C04B 35/10 Z

F-Term (14)：

4G030AA07 , 4G030AA12 , 4G030AA36 , 4G030BA01 , 4G030BA20 , 4G030BA33 , 4G030CA01 , 4G030CA03 , 4G030CA07 , 4G030GA11 , 4G030GA19 , 4G030GA23 , 4G030GA24 , 4G030GA35

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

アルミナ質焼結体およびその製造方法、並びに耐プラズマ部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-274045 Applicant：京セラ株式会社
耐食性部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-201566 Applicant：京セラ株式会社
耐プラズマ部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-042604 Applicant：京セラ株式会社

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