微小電子源付きカンチレバー

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：林敬之助 , 工業技術院電子技術総合研究所長 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996068642
Publication number (International publication number)：1997257816
Application date： Mar. 25, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】カンチレバー先端のチップから、微小領域へ制御性の良い電子ビームを放出することを可能とする。【解決手段】カンチレバー先端のチップ近傍に引き出し電極や収束電極を設ける。

Claim (excerpt)：

一端が支持台に固定されている片持ち梁構造のレバーと、そのレバーの先端部に電子ビームを放出することが可能な構造を持つ針状のチップを有することを特徴とするカンチレバー。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , G01L 1/18

FI (3)：

G01N 37/00 G , G01B 21/30 Z , G01L 1/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

電子放出素子及びこれを用いた電子源、画像形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-345480 Applicant：キヤノン株式会社
原子間力顕微鏡装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-305934 Applicant：キヤノン株式会社
特開平4-147448

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