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J-GLOBAL ID：200903064437816666

金属化合物溶液及びこれを用いた薄膜の製造方法

Inventor：
小野沢 和久

About 小野沢 和久

, 
山田 直樹

About 山田 直樹


Applicant, Patent owner：
旭電化工業株式会社

About 旭電化工業株式会社


Agent (1)： 羽鳥 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000039204
Publication number (International publication number)：2001234343
Application date： Feb. 17, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：
【要約】【課題】 溶液CVD法に適する安定性と濃度を有する金属化合物溶液、該溶液からなるCVD用原料及び該原料を用いた薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】 下記一般式(I)で表される金属化合物を下記一般式(II)で表されるシクロヘキサン化合物に溶解させてなる溶液。【化1】(式中、R1 、R2 及びR3 は各々独立にハロゲン原子で置換されてもよく、鎖中に酸素原子を含んでもよい炭素数1〜8のアルキル基を表し、R4 は炭素数2〜18の分岐してもよいアルキレン基を表し、Mは鉛原子、チタニウム原子又はジルコニウム原子を表す;Mが鉛原子の場合、lは0、mは2、nは0を表し、Mがチタニウム原子又はジルコニウム原子の場合、nは0又は1を表し、l及びmは、l+m+2nが4である0〜4の整数を表す)【化2】(式中、R5 は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表し、pは1〜2の整数を表す)
Claim (excerpt)：
下記一般式(I)で表される金属化合物を下記一般式(II)で表されるシクロヘキサン化合物に溶解させてなる金属化合物溶液。【化1】(式中、R1 、R2 及びR3 は各々独立にハロゲン原子で置換されてもよく、鎖中に酸素原子を含んでもよい炭素数1〜8のアルキル基を表し、R4 は炭素数2〜18の分岐してもよいアルキレン基を表し、Mは鉛原子、チタニウム原子又はジルコニウム原子を表す;Mが鉛原子の場合、lは0、mは2、nは0を表し、Mがチタニウム原子又はジルコニウム原子の場合、nは0又は1を表し、l及びmは、l+m+2nが4である0〜4の整数を表す)【化2】(式中、R5 は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表し、pは1〜2の整数を表す)
IPC (7)：
C23C 16/40 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/316 ,  C07C 49/92 ,  C07F 7/00 ,  C07F 7/24 ,  C07F 7/28
FI (7)：
C23C 16/40 ,  H01L 21/31 B ,  H01L 21/316 X ,  C07C 49/92 ,  C07F 7/00 A ,  C07F 7/24 ,  C07F 7/28 F
F-Term (44)：
4H006AA01 ,  4H006AB78 ,  4H006AB91 ,  4H006AB92 ,  4H049VN04 ,  4H049VN05 ,  4H049VN06 ,  4H049VP01 ,  4H049VQ19 ,  4H049VQ24 ,  4H049VR44 ,  4H049VU24 ,  4H049VV02 ,  4K030AA11 ,  4K030BA01 ,  4K030BA22 ,  4K030BA42 ,  4K030BA46 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030LA01 ,  4K030LA15 ,  5F045AA03 ,  5F045AA08 ,  5F045AA11 ,  5F045AB31 ,  5F045AC08 ,  5F045AC09 ,  5F045AD08 ,  5F045AD10 ,  5F045AE23 ,  5F045AF03 ,  5F045BB16 ,  5F045DC63 ,  5F045DP03 ,  5F045EE02 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BC20 ,  5F058BF02 ,  5F058BF27 ,  5F058BF37 ,  5F058BJ01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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