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J-GLOBAL ID:200903064499165866

窒化珪素焼結体及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 渡邉 一平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000108937
Publication number (International publication number):2001064080
Application date: Apr. 11, 2000
Publication date: Mar. 13, 2001
Summary:
【要約】【課題】 熱伝導率が高く、かつ、高温における電気絶縁性に優れた窒化珪素焼結体及びその製造方法を提供する。【解決手段】 窒化珪素粉末と、Mg化合物と、焼結助剤とを含む成形原料を成形し、窒素雰囲気下において1800〜2000°Cで焼成する、窒化珪素焼結体の製造方法である。成形原料を、酸化物換算で0.3〜10重量%のMgを含むように調製し、かつ、1400〜1700°Cの温度範囲において、0.5時間以上、一定温度に保持した後、焼成温度まで昇温する。
Claim (excerpt):
窒化珪素結晶粒及び粒界相からなり、酸化物換算で0.3〜10重量%のMgを含む焼結体であって、当該焼結体の熱伝導率が60W/mK以上、125°Cにおける電気抵抗率が1E+13Ωcm以上であることを特徴とする窒化珪素焼結体。
F-Term (30):
4G001BA06 ,  4G001BA08 ,  4G001BA09 ,  4G001BA12 ,  4G001BA14 ,  4G001BA24 ,  4G001BA32 ,  4G001BA63 ,  4G001BA71 ,  4G001BA73 ,  4G001BB06 ,  4G001BB08 ,  4G001BB09 ,  4G001BB12 ,  4G001BB14 ,  4G001BB24 ,  4G001BB32 ,  4G001BB63 ,  4G001BB71 ,  4G001BB73 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BC55 ,  4G001BC57 ,  4G001BD03 ,  4G001BD14 ,  4G001BD16 ,  4G001BD21 ,  4G001BD23 ,  4G001BE03
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (12)
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Cited by examiner (13)
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Article cited by the Patent:
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