赤外検査装置及び赤外検査方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：河宮治 , 山田卓二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004379580
Publication number (International publication number)：2006184177
Application date： Dec. 28, 2004
Publication date： Jul. 13, 2006
Summary：

【課題】赤外線の照射により被検体の異物部分・異常部分を検出する赤外検査装置において、適切に微小な異物部分・異常部分を検出できるようにする。【解決手段】本発明に係る赤外検査装置は、被検体に赤外線を照射する赤外光源と、被検体を透過した赤外線を集光する赤外線レンズと、前記赤外線レンズにより集光された赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線カメラと、前記赤外線カメラの出力する電気信号を入力して画像信号に変換し画像信号に基づいて画像を表示するモニタとを備える赤外検査装置であって、被検体の温度を設定温度の近傍に保つ冷却装置を更に備えることを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

被検体に赤外線を照射する赤外光源と、被検体を透過した赤外線を集光する赤外線レンズと、前記赤外線レンズにより集光された赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線カメラと、前記赤外線カメラの出力する電気信号を入力して画像信号に変換し画像信号に基づいて画像を表示するモニタとを備える赤外検査装置において、被検体の温度を設定温度の近傍に保つ冷却装置を更に備えることを特徴とする赤外検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/956 , H01L 21/66

FI (2)：

G01N21/956 A , H01L21/66 J

F-Term (16)：

2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051AC11 , 2G051AC15 , 2G051BA06 , 2G051CA04 , 2G051CD02 , 2G051DA20 , 4M106AA01 , 4M106BA08 , 4M106CA38 , 4M106DB04 , 4M106DB07 , 4M106DJ04 , 4M106DJ11 , 4M106DJ23

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

ウエハ及びソーラセルの欠陥検出用光照射検査システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-067193 Applicant：スペースシステムズ/ローラルインコーポレイテッド
基板の欠陥を検出する装置及びその方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-232153 Applicant：ティーアールダブリュー・インコーポレーテッド
赤外検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-026856 Applicant：三菱電機株式会社

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Cited by examiner (13)

赤外検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-026856 Applicant：三菱電機株式会社
表面汚染評価装置及び表面汚染評価方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-035073 Applicant：富士通株式会社
特開平4-026137

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