透光性基板の評価方法及び透光性基板の評価装置

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：足立勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003106577
Publication number (International publication number)：2004309426
Application date： Apr. 10, 2003
Publication date： Nov. 04, 2004
Summary：

【課題】透光性基板に存在するマイクロパイプ等の欠陥を、非破壊で正確に検出できる透光性基板の評価方法及び透光性基板の評価装置を提供すること。【解決手段】ステップ100では、サンプルをセットする。ステップ110では、初期設定を行う。ステップ120では、測定コマンドを選択する。ステップ130では、透過照明7から光を照射し、半導体基板6を透過した透過光により、TVカメラ9によって半導体基板6の投影画像を撮像する。ステップ140では、撮像した投影画像に、マイクロパイプ欠陥の検出のために必要な画像処理を行う。ステップ150では、前記画像処理によって区分された投影画像(多値化画像)に基づいて、マイクロパイプ欠陥の検出を行う。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

光学機器によって透光性基板を撮像して、前記透光性基板の欠陥を評価する透光性基板の評価方法において、前記透光性基板の一方の側から光を照射して、前記透光性基板を透過させた透過光により投影画像を撮像し、該投影画像のデータに基づいて、前記透光性基板の内部の欠陥による影を、その影の濃淡の状態により識別して、前記透光性基板の内部の欠陥を検出することを特徴とする透光性基板の評価方法。

IPC (2)：

G01N21/958 , G01B11/30

FI (2)：

G01N21/958 , G01B11/30 Z

F-Term (38)：

2F065AA49 , 2F065BB22 , 2F065CC19 , 2F065DD10 , 2F065FF10 , 2F065HH13 , 2F065HH15 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065PP24 , 2F065QQ03 , 2F065QQ08 , 2F065QQ31 , 2F065SS13 , 2G051AA42 , 2G051AA84 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AB04 , 2G051AB06 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BA20 , 2G051BB17 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB02 , 2G051DA07 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051FA10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

検査基体の欠陥検査方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-008797 Applicant：三菱化学株式会社
透明板状体の欠点検査方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-014224 Applicant：旭硝子株式会社
透明フィルムの異物検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-190589 Applicant：積水化学工業株式会社

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