電子ビーム励起プラズマを用いた窒化処理装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：関正治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000397584
Publication number (International publication number)：2002194527
Application date： Dec. 27, 2000
Publication date： Jul. 10, 2002
Summary：

【要約】【課題】被処理部材表面における窒化層の生成速度が大きく、かつ窒化物層や拡散層の制御が可能な窒化処理装置を提供する。【解決手段】放電プラズマを生成する放電室と、処理材料を載置する試料台37と原料ガス供給口を設けた窒化処理室3とを備え、窒化処理室内に加速電極31を設けて、加速電極により放電プラズマから電子を窒化処理室に引き出し加速して室内の窒素を含む原料ガスをプラズマ化して処理材料35の表面に作用させる。窒素ガスを原料ガスとして使用すること、処理材料は電子の流入方向に対して平行に、かつ電子流の中心から離れて配置されることが好ましい。

Claim (excerpt)：

放電プラズマを生成する放電室と、処理材料を載置する試料台と窒素を含む反応ガスを供給するガス供給口を設けた窒化処理室とを備える窒化処理装置であって、前記窒化処理室内に加速電極を設けて、該加速電極により前記放電プラズマから電子を前記窒化処理室に引き出し加速して前記反応ガスをプラズマ化して前記処理材料の表面に作用させることを特徴とする窒化処理装置。

IPC (4)：

C23C 8/36 , H01J 37/077 , H01J 37/32 , H05H 1/24

FI (4)：

C23C 8/36 , H01J 37/077 , H01J 37/32 , H05H 1/24

F-Term (2)：

4K028BA02 , 4K028BA21

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

圧力勾配型電子ビーム励起プラズマ発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-082751 Applicant：川崎重工業株式会社
電子ビーム励起プラズマ発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-013188 Applicant：川崎重工業株式会社
電子ビーム励起プラズマ発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-098527 Applicant：川崎重工業株式会社

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