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J-GLOBAL ID：200903064951208187

計測装置及び計測方法

Inventor：
岡 美智雄

About 岡 美智雄


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998187774
Publication number (International publication number)：2000018916
Application date： Jul. 02, 1998
Publication date： Jan. 21, 2000
Summary：
【要約】【課題】 計測対象物のより微細な構造や深さ方向の構造の計測が可能な計測装置及び計測方法を提供する。【解決手段】 固体レーザー光源からのレーザー光に対して波長変換を行うことにより紫外線レーザー光を発生させ、上記紫外線レーザー光を用いたヘテロダイン検出又はホモダイン検出により計測対象物の構造を計測する。これにより、より微細な構造を計測することが可能となる。或いは、レーザー光を複数に分割するとともに、それらのレーザー光が異なる周波数となるように周波数シフトを施し、各レーザー光をそれぞれ異なる焦点位置に結像させてヘテロダイン検出を行う。そして、得られたヘテロダイン信号を周波数帯域分離することで、各結像点に対応した計測対象物の構造をそれぞれ計測する。これにより、計測対象物の深さ方向の構造についても計測することが可能となる。
Claim (excerpt)：
固体レーザー光源からのレーザー光に対して波長変換を行うことにより紫外線レーザー光を発生させる紫外線レーザー光発生手段と、上記紫外線レーザー光を用いたヘテロダイン検出又はホモダイン検出により計測対象物の構造を計測する計測手段とを備えることを特徴とする計測装置。
IPC (2)：
G01B 11/00 ,  G01B 9/02
FI (2)：
G01B 11/00 G ,  G01B 9/02
F-Term (33)：
2F064AA09 ,  2F064CC04 ,  2F064FF02 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG38 ,  2F064GG39 ,  2F064GG53 ,  2F064GG55 ,  2F064GG68 ,  2F064GG70 ,  2F064HH06 ,  2F065AA25 ,  2F065DD03 ,  2F065FF52 ,  2F065GG06 ,  2F065GG23 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL00 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL53 ,  2F065LL57 ,  2F065MM03 ,  2F065NN06 ,  2F065NN08 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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