電界放射電子源およびこれを用いた顕微鏡

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：鹿島義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003334998
Publication number (International publication number)：2005100885
Application date： Sep. 26, 2003
Publication date： Apr. 14, 2005
Summary：

【課題】再現性よく、歩留まりよく製造できるカーボンナノ材料を用いた電界放射電子源を提供する。【解決手段】先端が先鋭化した陰極部材1と、先端が陰極部材1より突出するようにして陰極部材1に固着した1本のカーボンナノ材料からなる先端部材2と、陰極部材1と電気的に接続された導通部8、3、4が形成された基台5とを備え、陰極部材1と先端部材2とは接合するようにして固着させることにより、結晶成長することなくカーボンナノ材料を陰極部材に取り付ける。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

陰極部材と、陰極部材先端より突出するようにして陰極部材に固着した1本のカーボンナノ材料からなる先端部材と、陰極部材と電気的に接続された導通部とを備えたことを特徴とする電界放射電子源。

IPC (3)：

H01J1/304 , H01J9/02 , H01J37/073

FI (3)：

H01J1/30 F , H01J9/02 B , H01J37/073

F-Term (20)：

5C030CC02 , 5C127AA04 , 5C127BA10 , 5C127BA15 , 5C127BB07 , 5C127CC03 , 5C127CC10 , 5C127CC63 , 5C127DD35 , 5C127DD38 , 5C127DD62 , 5C127DD66 , 5C127EE15 , 5C127EE17 , 5C135AA10 , 5C135AA15 , 5C135AB07 , 5C135EE20 , 5C135HH15 , 5C135HH17

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

カーボン・ナノチューブ作成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-379334 Applicant：株式会社東北テクノアーチ

Cited by examiner (5)

電界放出型電子源及びそのカーボンナノチューブの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-046383 Applicant：科学技術振興事業団
集束イオンビーム加工による走査型顕微鏡用プローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-403560 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社, セイコーインスツルメンツ株式会社
垂直式走査型顕微鏡用カンチレバー及びこれを使用した垂直式走査型顕微鏡用プローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-403558 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社, セイコーインスツルメンツ株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

ナノチューブ1本で電子源

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