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J-GLOBAL ID：200903066879868323

可動ステージ

Inventor： 津戸 宏之 ,  武井 義文 ,  松本 匡史 ,  塩貝 達也
Applicant, Patent owner： 太平洋セメント株式会社
Agent (1)： 高山 宏志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003280343
Publication number (International publication number)：2005045184
Application date： Jul. 25, 2003
Publication date： Feb. 17, 2005
Summary：

【課題】局所的な荷重変形量を考慮することなく、高速化と高位置決め精度を両立させることができる可動ステージを提供すること。【解決手段】物体を載置して移動可能な可動ステージであって、ハニカム構造を有するコア材1と、その少なくとも物体載置面側に設けられた表面板2とを有し、コア材1および表面板2がいずれもSiC質材料からなる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

物体を載置して移動可能な可動ステージであって、ハニカム構造を有するコア材と、その少なくとも物体載置面側に設けられた表面板とを有し、前記コア材および前記表面板がいずれもSiC質材料からなることを特徴とする可動ステージ。

IPC (2)：

H01L21/027 ,  H01L21/68

FI (2)：

H01L21/30 503A ,  H01L21/68 K

F-Term (9)：

5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA55 ,  5F031KA06 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 露光装置用部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-306157   Applicant：東陶機器株式会社

Cited by examiner (3)

• セラミックス部品
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-375237   Applicant：太平洋セメント株式会社, 株式会社日本セラテック
• 液晶パネル用露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-044973   Applicant：大見忠弘, 株式会社日本セラテック
• ウエハチヤツク
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-210444   Applicant：キヤノン株式会社