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J-GLOBAL ID：200903067194241286

圧電マイクロポンプ

Inventor：
久保田 哲平

About 久保田 哲平

, 
田中 克彦

About 田中 克彦


Applicant, Patent owner：
株式会社村田製作所

About 株式会社村田製作所


Agent (1)： 小柴 雅昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003192948
Publication number (International publication number)：2005030213
Application date： Jul. 07, 2003
Publication date： Feb. 03, 2005
Summary：
【課題】低電圧駆動が可能であり、流量の安定化を図り得る、圧電マイクロポンプを提供する。【解決手段】Si基板22の第1の主面23側に、下部電極層28と圧電体厚膜29と上部電極層30とを積層する。Si基板22には、第1の主面23側にダイヤフラム部31を形成しかつ第2の主面32側に開口33を形成する状態でポンプ室34ならびに放出側流路35および供給側流路36を設ける。開口33は、封止層40によって封止する。放出側流路35および供給側流路36を、それぞれ、放出側テーパ弁37および供給側テーパ弁38によって構成し、放出側テーパ弁37に、昇圧部となる絞り部39を設ける。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板を備え、 前記基板の第1の主面側に、下部電極層と圧電体厚膜と上部電極層とが、この順序で積層され、 前記基板には、前記第1の主面側にダイヤフラム部を形成しかつ前記第1の主面に対向する第2の主面側に開口を形成する状態でポンプ室が設けられるとともに、前記ポンプ室に連通する放出側流路および供給側流路が設けられ、 前記開口は、封止層によって封止され、 前記放出側流路および前記供給側流路の各々の少なくとも一部は、それぞれ、放出側テーパ弁および供給側テーパ弁によって与えられ、 前記放出側テーパ弁には、昇圧部となる絞り部が設けられている、 圧電マイクロポンプ。
IPC (7)：
F04B45/047 ,  B81B3/00 ,  F04B9/00 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22
FI (10)：
F04B45/04 103C ,  B81B3/00 ,  F04B9/00 B ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 D ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101F ,  H01L41/22 Z
F-Term (27)：
3H075AA00 ,  3H075BB04 ,  3H075BB19 ,  3H075BB30 ,  3H075CC03 ,  3H075CC05 ,  3H075CC24 ,  3H075CC34 ,  3H075DA02 ,  3H075DA06 ,  3H075DB02 ,  3H075EE00 ,  3H077AA00 ,  3H077BB00 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077CC16 ,  3H077DD06 ,  3H077EE04 ,  3H077EE11 ,  3H077EE15 ,  3H077EE36 ,  3H077FF03 ,  3H077FF12 ,  3H077FF14 ,  3H077FF22 ,  3H077FF36
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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