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J-GLOBAL ID：200903067616970090

マーク位置検出装置およびその組み立て方法

Inventor：
福井 達雄

About 福井 達雄


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 古谷 史旺
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002290985
Publication number (International publication number)：2004128253
Application date： Oct. 03, 2002
Publication date： Apr. 22, 2004
Summary：
【課題】装置起因の誤差TISを確実に低減でき、被検マークの位置検出をさらに精度良く行えるマーク位置検出装置およびその組み立て方法を提供する。【解決手段】基板11上の被検マーク30を照明する照明光学系13〜19と、被検マークからの光L2を結像して、被検マークの像を形成する結像光学系19〜23と、結像光学系の光軸O2上に配置され、結像光学系の残存収差を補正する補正部材24と、結像光学系および補正部材を介して形成された被検マークの像を撮像して、画像信号を出力する撮像手段25と、撮像手段から画像信号を入力して、被検マークの位置を算出する算出手段26とを備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板上の被検マークを照明する照明光学系と、 前記被検マークからの光を結像して、前記被検マークの像を形成する結像光学系と、 前記結像光学系の光軸上に配置され、前記結像光学系の残存収差を補正する補正部材と、 前記結像光学系および前記補正部材を介して形成された前記被検マークの像を撮像して、画像信号を出力する撮像手段と、 前記撮像手段から前記画像信号を入力して、前記被検マークの位置を算出する算出手段とを備えた ことを特徴とするマーク位置検出装置。
IPC (1)：
H01L21/027
FI (1)：
H01L21/30 525R
F-Term (14)：
5F046EA03 ,  5F046EA09 ,  5F046EA12 ,  5F046EA13 ,  5F046EB01 ,  5F046FA03 ,  5F046FA10 ,  5F046FB06 ,  5F046FB09 ,  5F046FB11 ,  5F046FB12 ,  5F046FB17 ,  5F046FC03 ,  5F046FC04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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