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J-GLOBAL ID：200903068614589239

媒質の測定装置および測定方法

Inventor：
丸山 英樹

About 丸山 英樹


Applicant, Patent owner：
松下電器産業株式会社

About 松下電器産業株式会社


Agent (1)： 岩橋 文雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999170493
Publication number (International publication number)：2001004538
Application date： Jun. 17, 1999
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：
【要約】【課題】 装置の小型化、安定化、測定の高速化が可能で、測定対象物の屈折率と厚さの同時自動測定が可能な媒質の測定装置および測定方法を提供する。【解決手段】 コリメートされた低コヒーレンス光を検査光と参照光とに空間的に分離し2つの光路に分割するする光路分割手段と、光路分割手段により分離される検査光を対物集光レンズ9により集光し測定対象物10に照射する照射手段と、測定対象物10を保持搭載し検査光の光軸に平行に移動する測定対象物駆動手段11aと、光路分割手段により分離される参照光を光路長を調節する参照光光路長調節手段と、参照光を位相変調する位相変調手段と、位相変調された参照光と信号光とを干渉させ干渉光を生成する干渉光生成手段と、を備えた
Claim (excerpt)：
低コヒーレンス光を出射する光源と、前記光源より出射された低コヒーレンス光をコリメートするコリメートレンズと、コリメートされた低コヒーレンス光を検査光と参照光とに空間的に分離し2つの光路に分割する光路分割手段と、前記光路分割手段により分離される前記検査光を対物集光レンズにより集光し測定対象物に照射する照射手段と、前記測定対象物を保持搭載し前記検査光の光軸方向に移動する測定対象物駆動手段及び/又は前記対物集光レンズを保持搭載し前記検査光の光軸方向に移動する対物集光レンズ駆動手段と、前記光路分割手段により分離される前記参照光の光路長を調節する参照光光路長調節手段と、前記参照光を位相変調する位相変調手段と、位相変調された前記参照光と前記信号光とを干渉させ干渉光を生成する干渉光生成手段と、前記干渉光生成手段により生成された干渉光の強度を検出する受光素子と、を備えたことを特徴とする媒質の測定装置。
IPC (6)：
G01N 21/27 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/06 ,  G01J 9/04 ,  G01N 21/23 ,  G01N 21/45
FI (6)：
G01N 21/27 H ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/06 G ,  G01J 9/04 ,  G01N 21/23 ,  G01N 21/45 A
F-Term (101)：
2F064AA01 ,  2F064CC10 ,  2F064EE01 ,  2F064EE04 ,  2F064FF03 ,  2F064FF07 ,  2F064GG04 ,  2F064GG06 ,  2F064GG12 ,  2F064GG13 ,  2F064GG16 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG24 ,  2F064GG44 ,  2F064GG45 ,  2F064GG47 ,  2F064GG52 ,  2F064GG59 ,  2F064GG65 ,  2F064HH01 ,  2F064HH05 ,  2F064JJ05 ,  2F065AA00 ,  2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC00 ,  2F065CC02 ,  2F065CC16 ,  2F065CC31 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF10 ,  2F065FF52 ,  2F065FF66 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL00 ,  2F065LL01 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL13 ,  2F065LL14 ,  2F065LL17 ,  2F065LL30 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL62 ,  2F065LL65 ,  2F065MM02 ,  2F065MM16 ,  2F065NN02 ,  2F065NN05 ,  2F065NN20 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ02 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059BB12 ,  2G059BB15 ,  2G059CC20 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059FF09 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG06 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ23 ,  2G059KK01 ,  2G059KK02 ,  2G059MM09 ,  2G059MM11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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