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J-GLOBAL ID：200903068709220550

マスク検査装置

Inventor：
村本 美幸

About 村本 美幸


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998325066
Publication number (International publication number)：2000147747
Application date： Nov. 16, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：
【要約】【課題】 人が非接触でマスクの傷などの有無を確実に検査することができるマスク検査装置を提供する。【解決手段】 マスク検査においては、まず、操作ボタン61を押圧して、窒素ガスガン42から窒素ガスを吹き出させて、窒素ガスをマスク表面に吹き付ける。これにより、マスク表面に付着したゴミや異物などを除去する。次いで、操作ボタン62を押圧して集光機52から光をマスクに照射した状態で、回転モータ23を動作させてアーム22を回転させる。これにより、マスクの表面の向きを変えて、照射した光の反射を観察してマスク表面に傷などがあるかどうかを検査する。
Claim (excerpt)：
マスクに人の手が非接触の状態で前記マスクの検査を行なうマスク検査装置であって、マスクを把持する把持手段と、前記マスクの表面の向きを変えるように前記把持手段を反転する反転手段と、前記マスクに対して光を照射する光照射手段と、を具備することを特徴とするマスク検査装置。
IPC (3)：
G03F 1/08 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F 1/08 S ,  G01N 21/88 645 A ,  H01L 21/30 502 V
F-Term (11)：
2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AC12 ,  2G051AC22 ,  2G051BA00 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2H095BD04 ,  2H095BD29
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
  • マスク外観検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-273261   Applicant：宮崎沖電気株式会社, 沖電気工業株式会社
  • 特開平3-284751
  • フレームの貼着装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-236940   Applicant：株式会社ニコン
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