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J-GLOBAL ID：200903069627595781

走査型プローブ顕微鏡及びその動作方法

Inventor：
小嶋 秀夫

About 小嶋 秀夫


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006142187
Publication number (International publication number)：2007047150
Application date： May. 23, 2006
Publication date： Feb. 22, 2007
Summary：
【課題】 本発明は走査型プローブ顕微鏡及びその動作方法に関し、探針と試料とが接触することを確実に回避することを目的としている。【解決手段】 探針を試料表面に対して相対的に走査し、これにより試料表面の凹凸を測定する走査型プローブ顕微鏡において、それまでに走査した走査ラインにおける試料表面の高さ情報の最高値に対応して高さ方向の走査基準位置を更新するとともに、走査基準位置に対する高さ方向での探針の相対移動の制限値を設定し、当該更新後に次の走査ラインの走査を順次実行する。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
探針を試料表面に対して相対的に走査し、これにより試料表面の凹凸を測定する走査型プローブ顕微鏡において、 それまでに走査した走査ラインにおける試料表面の高さ情報の最高値に対応して高さ方向の走査基準位置を更新するとともに、走査基準位置に対する高さ方向での探針の相対移動の制限値を設定し、当該更新後に次の走査ラインの走査を順次実行することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30
FI (2)：
G01N13/10 C ,  G01B21/30
F-Term (9)：
2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ19 ,  2F069LL03 ,  2F069MM34
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 走査型プローブ顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-078780   Applicant：株式会社ニコン
  • 走査型プローブ顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-102775   Applicant：日立建機株式会社
Cited by examiner (8)
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