原子間力顕微鏡用プローブとその製造方法および原子間力顕微鏡

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996294045
Publication number (International publication number)：1997297148
Application date： Nov. 06, 1996
Publication date： Nov. 18, 1997
Summary：

【要約】【課題】プローブのたわみ測定が容易で、先端の尖鋭化された原子間力顕微鏡用プローブを簡便な製造方法で実現する。【解決手段】圧電結晶基板の結晶面で、先端を形成したプローブ、および、等方的な手法で先端を形成したプローブとその製造方法を提案し、走査型原子間力顕微鏡を構成した。

Claim (excerpt)：

カンチレバー部と探針部によって、構成される原子間力顕微鏡用プローブにおいて、探針が単結晶材料によって形成され、探針の先端部がすくなくとも2つの結晶面を含む3つの面の頂点として形成されることを特徴とする原子間力顕微鏡用プローブ。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 11/30 , G01B 21/30

FI (3)：

G01N 37/00 F , G01B 11/30 Z , G01B 21/30 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

特開平3-218998
特公平6-103176
走査型力顕微鏡用薄膜式力検出プローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-120988 Applicant：須賀唯知, 伊藤寿浩

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Cited by examiner (8)

特開平3-218998
特開平3-218998
微小プローブ、その製造方法、該プローブを用いた表面観察装置及び情報処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-193564 Applicant：キヤノン株式会社

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