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J-GLOBAL ID：200903071799189550

洗浄方法

Inventor：
鈴木 哲夫

About 鈴木 哲夫


Applicant, Patent owner：
株式会社デジタルネットワーク

About 株式会社デジタルネットワーク


Agent (4)： 小林 浩 ,  片山 英二 ,  小林 純子 ,  古橋 伸茂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004138389
Publication number (International publication number)：2005319377
Application date： May. 07, 2004
Publication date： Nov. 17, 2005
Summary：
【課題】 従来の洗浄方法でも除去できない灰化物等の汚染物を除去できる高清浄度の洗浄方法の提供。 【解決手段】 固形炭酸粒子を被洗浄材に噴射することにより、前記被洗浄材上の付着物を除去した後に、炉内において前記被洗浄材を加熱冷却する加熱冷却工程を含む被洗浄材の洗浄方法であって、前記加熱冷却された被洗浄材を、比抵抗15MΩ以上の純水に浸漬する浸漬工程と、前記浸漬工程において、前記被洗浄材に超音波振動を与える超音波振動工程を含む洗浄方法であり、前記洗浄後に、50°C以上の窒素雰囲気下で前記被洗浄材を乾燥させる第1乾燥工程を含む洗浄方法。 【選択図】なし
Claim (excerpt)：
固形炭酸粒子を被洗浄材に噴射して前記被洗浄材上の付着物を除去した後に、炉内において前記被洗浄材を加熱冷却する加熱冷却工程を含む洗浄方法であって、 前記加熱冷却工程後に、さらに前記被洗浄材の表面上の付着物を除去する付着物除去工程を含む洗浄方法。
IPC (6)：
B08B7/04 ,  B08B3/04 ,  B08B3/12 ,  B08B7/00 ,  C04B41/91 ,  H01L21/304
FI (6)：
B08B7/04 Z ,  B08B3/04 Z ,  B08B3/12 A ,  B08B7/00 ,  C04B41/91 Z ,  H01L21/304 648Z
F-Term (26)：
3B116AA46 ,  3B116AB01 ,  3B116BA06 ,  3B116BB02 ,  3B116BB22 ,  3B116BB82 ,  3B116BB83 ,  3B116BB88 ,  3B116BB90 ,  3B116BC01 ,  3B116CC03 ,  3B201AA46 ,  3B201AB01 ,  3B201BA06 ,  3B201BB02 ,  3B201BB04 ,  3B201BB22 ,  3B201BB82 ,  3B201BB83 ,  3B201BB88 ,  3B201BB90 ,  3B201BB93 ,  3B201BB98 ,  3B201BC01 ,  3B201CB11 ,  3B201CC12
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (5)
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