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J-GLOBAL ID：200903072544870897

ウィーンフィルタ

Inventor：
向井 雅貴

About 向井 雅貴


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Agent (6)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006321980
Publication number (International publication number)：2008135336
Application date： Nov. 29, 2006
Publication date： Jun. 12, 2008
Summary：
【課題】 ウィーンフィルタ内で静電偏向場、及び静磁偏向場に付随して発生する六極子場に対して、静電六極子場を積極的に発生させ、3回非点を補正する。【解決手段】 静電場発生部4は、この12極型ウィーンフィルタが適用されるモノクロメータにおいてスリット上でビームを絞るために、ユーザが操作部6を使って操作した指示にしたがって、各電源の印加電圧を調整し、静電偏向場、静電四極子場、静電六極子場のような多重極静電場を発生する。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
Z軸にほぼ平行な光軸を有し、この光軸に直交する二つの軸をX軸及びY軸としたとき、X軸方向に静電偏向場を生成し、Y軸方向に静磁偏向場を生成するウィーンフィルタにして、Z軸方向において光軸に平行に伸びる2n(nは4以上の整数)個の極を有し、かつXY面内において、光軸に面する各極の先端部が、光軸を中心として回転対称性を有するウィーンフィルタにおいて、 前記2n個の極に独立に電源を供給する5つの独立制御可能な電源部を制御することにより前記静電偏向場に加えて静電四極子場、さらに静電六極子場を発生する静電場発生手段を備え、 前記静電場発生手段により前記静電六極子場を発生させ、3回非点を補正することを特徴とするウィーンフィルタ。
IPC (2)：
H01J 37/05 ,  H01J 37/153
FI (2)：
H01J37/05 ,  H01J37/153 Z
F-Term (3)：
5C033AA02 ,  5C033AA07 ,  5C033JJ01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • ウィーンフィルタ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-031993   Applicant：日本電子株式会社
  • ウィーンフィルタ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-258353   Applicant：日本電子株式会社
Cited by examiner (4)
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