ポジ型レジスト組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩野平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997120919
Publication number (International publication number)：1998312060
Application date： May. 12, 1997
Publication date： Nov. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】 220nm以下の露光光源の使用時に、良好な感度、解像度を与え、更に十分な耐ドライエッチング性を有し、且つ基板との密着性が良好で、従来のレジストに使用していた現像液に対しても良好な現像性を示すポジ型レジスト組成物を提供することである。【解決手段】活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、多環型の脂環式基とカルボキシル基を有する樹脂、及び特定の構造のエノールエーテル基を少なくとも2個有する化合物を含有するポジ型レジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)多環型の脂環式基とカルボキシル基を有する樹脂、及び(C)下記一般式(I)で表される基を少なくとも2個有する化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。【化1】式(I)中、R1 〜R3 は同じでも異なっていても良く、水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。また、R1 〜R3の内の2つが結合して3〜8個の炭素原子、ヘテロ原子から成る環構造を形成しても良い。Zは酸素原子、イオウ原子、-SO2 -又は-NH-を示す。

IPC (4)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

ポジ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-018793 Applicant：富士写真フイルム株式会社
放射線感光材料及びパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-276597 Applicant：富士通株式会社
ビニル基を含有する単量体及びその重合体及びそれを用いた感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-280695 Applicant：日本電気株式会社

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