走査型電子顕微鏡を用いた試料の観察方法及びその装置

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：作田康夫 , 井上学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005028370
Publication number (International publication number)：2005285746
Application date： Feb. 04, 2005
Publication date： Oct. 13, 2005
Summary：

【課題】電子線式顕微鏡を用いた半導体欠陥自動レビューにおける自動焦点合わせに要する時間を短縮することができ、試料を観察するスループットを向上させる。【解決手段】走査型電子顕微鏡を用いて試料を観察する方法において、走査型電子顕微鏡で試料を低倍率で撮像して画像を取得し、前記低倍率で取得した画像から前記試料を高倍率で撮像する領域を特定し、前記走査型電子顕微鏡で試料を高倍率で撮像して合焦位置を求め、前記走査型電子顕微鏡の焦点を該求めた合焦位置に設定し、焦点位置を合焦位置に設定した状態で前記特定した領域の高倍率の画像を取得する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

走査型電子顕微鏡を用いて試料を観察する方法であって、走査型電子顕微鏡で試料を低倍率で撮像して画像を取得し、前記低倍率で取得した画像から前記試料を高倍率で撮像する領域を特定し、前記走査型電子顕微鏡で前記試料を高倍率で撮像して合焦位置を求め、前記走査型電子顕微鏡の焦点を該求めた合焦位置に設定し、該焦点位置を合焦位置に設定した状態で前記特定した領域の高倍率の画像を取得することを特徴とする走査型電子顕微鏡を用いた試料の観察方法。

IPC (4)：

H01J37/28 , G01N23/225 , H01J37/21 , H01L21/66

FI (4)：

H01J37/28 B , G01N23/225 , H01J37/21 B , H01L21/66 J

F-Term (26)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001EA05 , 2G001FA01 , 2G001FA06 , 2G001GA04 , 2G001GA06 , 2G001GA08 , 2G001HA13 , 2G001JA11 , 2G001JA13 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA11 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106BA02 , 4M106CA38 , 4M106DB04 , 4M106DB18 , 4M106DB20 , 5C033MM03 , 5C033UU05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

SEM式欠陥レビュー装置およびその方法並びに検査システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-316334 Applicant：株式会社日立製作所
欠陥検査レビュー方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-292790 Applicant：株式会社日立製作所

Cited by examiner (5)

走査型電子顕微鏡およびそれによる欠陥部位解析方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-296481 Applicant：株式会社日立製作所
走査形荷電粒子顕微鏡、並びに走査形荷電粒子顕微鏡の焦点合わせ方法及び非点収差補正方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-175635 Applicant：株式会社日立製作所
走査電子顕微鏡等における試料撮影装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-125802 Applicant：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ

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