表示装置及びその作製方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003109613
Publication number (International publication number)：2004004757
Application date： Apr. 14, 2003
Publication date： Jan. 08, 2004
Summary：

【課題】表示装置の動作性能の安定性の向上及び回路設計における設計マージンの拡大を達成させる。【解決手段】基板上に半導体素子及び該半導体素子に接続された画素電極を設けた複数の画素を有する画素部を有した表示装置において、前記半導体素子は、層間絶縁膜として感光性有機樹脂膜を有し、該感光性有機樹脂膜に設けられた第1開口部の内壁面が第2窒化絶縁膜に覆われ、かつ、該第1開口部の内側に無機絶縁膜に設けられた第2開口部を有し、前記第1開口部及び前記第2開口部を介して前記半導体と前記配線が接続されており、前記画素電極は、前記活性層よりも下層に設けられていることを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板上に半導体素子及び該半導体素子に接続された画素電極を設けた複数の画素を有する画素部を有した表示装置において、前記半導体素子は、活性層、該活性層に接するゲート絶縁膜、該ゲート絶縁膜を介して前記活性層に対向するゲート電極、前記活性層の上方に設けられた第1窒化絶縁膜、該第1窒化絶縁膜の上に設けられた感光性有機樹脂膜、該感光性有機樹脂膜の上に設けられた第2窒化絶縁膜及び該第2窒化絶縁膜の上に設けられた配線を有し、前記感光性有機樹脂膜に設けられた第1開口部の内壁面が前記第2窒化絶縁膜に覆われると共に、該第1開口部の内側に前記ゲート絶縁膜、前記第1窒化絶縁膜及び前記第2窒化絶縁膜を含む積層体に設けられた第2開口部を有し、前記第1開口部及び前記第2開口部を介して前記活性層と前記配線が接続されており、前記画素電極は、前記活性層よりも下層に設けられると共に前記半導体素子に前記配線を介して接続されていることを特徴とする表示装置。

IPC (5)：

G02F1/1368 , G09F9/30 , H01L21/336 , H01L29/786 , H05B33/14

FI (6)：

G02F1/1368 , G09F9/30 338 , H05B33/14 A , H01L29/78 612D , H01L29/78 619A , H01L29/78 627C

F-Term (81)：

2H092GA29 , 2H092GA59 , 2H092JA25 , 2H092JA26 , 2H092JA46 , 2H092JB57 , 2H092JB58 , 2H092KA03 , 2H092MA15 , 2H092MA17 , 2H092MA37 , 2H092NA24 , 2H092NA27 , 2H092QA07 , 3K007AB17 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007CC00 , 3K007DB03 , 3K007GA00 , 5C094AA44 , 5C094AA53 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA09 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094EA04 , 5C094FA02 , 5C094HA06 , 5C094HA07 , 5C094HA08 , 5F110AA30 , 5F110BB02 , 5F110CC02 , 5F110CC08 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD05 , 5F110DD13 , 5F110DD15 , 5F110DD17 , 5F110EE01 , 5F110EE22 , 5F110EE28 , 5F110FF01 , 5F110FF04 , 5F110GG13 , 5F110HJ23 , 5F110HL01 , 5F110HL02 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL06 , 5F110HL14 , 5F110HL22 , 5F110HL23 , 5F110HL24 , 5F110HM15 , 5F110HM18 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN05 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN34 , 5F110NN40 , 5F110NN71 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110PP03 , 5F110PP34 , 5F110QQ04 , 5F110QQ05 , 5F110QQ14 , 5F110QQ22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

アレイ基板および液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-195012 Applicant：株式会社東芝
特開平4-261017
発光装置及びそれを用いた電気器具
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-117529 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所

表示装置および表示装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-196779 Applicant：三洋電機株式会社

半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-336709 Applicant：日本鋼管株式会社

液晶表示素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-354319 Applicant：株式会社東芝

発光装置および電気器具
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-053361 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所

表示装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-368253 Applicant：三洋電機株式会社

半導体装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-029387 Applicant：キヤノン販売株式会社, 株式会社半導体プロセス研究所

液晶表示装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-205057 Applicant：シャープ株式会社

半導体装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-139216 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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