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J-GLOBAL ID：200903075757097961

基板搬送装置及び基板処理装置

Inventor：
小泉 浩

About 小泉 浩

, 
網倉 紀彦

About 網倉 紀彦


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (1)： 井上 俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003076105
Publication number (International publication number)：2004288720
Application date： Mar. 19, 2003
Publication date： Oct. 14, 2004
Summary：
【課題】基板搬送装置を備えた気密構造の搬送室の周囲に複数の真空処理室を接続してなる装置において、装置のフットプリントを小さくすることができ、また大きな自由度で効率よく半導体ウエハを搬送すること。【解決手段】搬送室の中心の回りに旋回自在な実質同一構造の第1及び第2の多関節アームを設け、いずれの多関節アームも、旋回アームとウエハを保持する先端アームと、これら両アームの間に設けられた中段アームと、を含む構成とする。基板保持アームが直線運動をする通常の多関節アームでは、旋回アームの基端プーリと先端側の支持プーリとの歯数比が2:1で、中段アームの基端側の固定プーリと先端側の先端プーリとの歯数比が1:2であるが、前者の歯数比を例えば2.67:1に設定する。この場合第1及び第2の多関節アームの基板保持アームが互いに開くようにカーブを描いて前進し、伸びきったときに45度の開き角度になる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
旋回自在な第1の旋回アームと、基板を保持するための第1の基板保持部をなす第1の基板保持アームと、前記第1の旋回アーム及び第1の基板保持アームの間に設けられた第1の中段アームと、を含む第1の多関節アームと、 前記第1の旋回アームと旋回中心が共通である旋回自在な第2の旋回アームと、基板を保持するための第2の基板保持部をなす第2の基板保持アームと、前記第2の旋回アーム及び第2の基板保持アームの間に設けられた第2の中段アームと、を含む第2の多関節アームと、を備え、 第1及び第2の基板保持アームの移動軌跡は、前記旋回中心を通る水平な直線を挟んで左右に離れていることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4)：
H01L21/68 ,  B25J9/06 ,  B65G49/00 ,  B65G49/07
FI (4)：
H01L21/68 A ,  B25J9/06 D ,  B65G49/00 A ,  B65G49/07 D
F-Term (27)：
3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007BS26 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007DS08 ,  3C007HS27 ,  3C007HT02 ,  3C007HT16 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA03 ,  5F031GA48 ,  5F031GA50 ,  5F031LA13 ,  5F031LA14 ,  5F031MA04 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031NA07 ,  5F031PA30
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
  • カセット搬送ロボット及び半導体製造装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-322303   Applicant：国際電気株式会社
  • 基板処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-049268   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
  • 基板搬送方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-073287   Applicant：株式会社ニコン
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Cited by examiner (5)
  • 基板処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-049268   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
  • 基板搬送方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-073287   Applicant：株式会社ニコン
  • 搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-314492   Applicant：東京エレクトロン株式会社
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