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J-GLOBAL ID：200903076291400240

半導体装置及びその製造方法

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Inventor： 森脇 將 ,  山田 隆順
Applicant, Patent owner： 松下電子工業株式会社
Agent (1)： 前田 弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999214597
Publication number (International publication number)：2001044423
Application date： Jul. 29, 1999
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】 コンタクトのアスペクト比が大きくなっても、コンタクトホールに金属膜を埋め込む工程が困難になる事態を回避する。【解決手段】 シリコン基板100の上に堆積された絶縁膜107にゲート電極形成用の凹状溝108を形成した後、シリコン窒化酸化膜109及び第1の高融点金属膜110を形成する。コンタクトホール112を形成した後、第2の高融点金属膜113及び金属膜114を堆積する。金属膜114、第2の高融点金属膜113及び第1の高融点金属膜110における絶縁膜102の上に露出している部分を除去して、金属膜114からなるゲート電極114A及びコンタクト114B、第2の高融点金属膜113からなる内側バリア層113A及びコンタクト用バリア層113B、並びに第1の高融点金属膜110からなる外側バリア層110Aを形成する。内側バリア層113A及び外側バリア層110Aによってゲート電極用バリア層が構成されている。

Claim (excerpt)：

半導体基板上の絶縁膜に形成された凹状溝に、前記半導体基板との間にゲート絶縁膜を介在させて埋め込まれた金属膜からなるゲート電極と、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールに、前記ゲート電極と同一工程において、前記半導体基板に形成されている不純物層と接するように埋め込まれたコンタクトと、前記絶縁膜及びゲート絶縁膜と前記ゲート電極との間に設けられており、前記凹状溝の壁面及び前記ゲート絶縁膜と接するように形成された第1の高融点金属膜からなる外側バリア層と、前記ゲート電極の側面及び下面と接するように形成された第2の高融点金属膜からなる内側バリア層とから構成されるゲート電極用バリア層と、前記コンタクトホールの壁面及び底面と前記コンタクトとの間に設けられており、前記内側バリア層と同一工程において形成されたコンタクト用バリア層とを備えていることを特徴とする半導体装置。

IPC (9)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/8234 ,  H01L 27/088 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 29/43

FI (7)：

H01L 29/78 301 G ,  H01L 21/28 301 R ,  H01L 21/88 R ,  H01L 21/90 D ,  H01L 27/08 102 D ,  H01L 27/10 681 Z ,  H01L 29/62 G

F-Term (149)：

4M104AA01 ,  4M104BB14 ,  4M104BB30 ,  4M104BB32 ,  4M104BB33 ,  4M104BB36 ,  4M104CC05 ,  4M104DD03 ,  4M104DD04 ,  4M104DD08 ,  4M104DD16 ,  4M104DD18 ,  4M104DD23 ,  4M104DD26 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD65 ,  4M104DD75 ,  4M104DD94 ,  4M104EE03 ,  4M104EE09 ,  4M104EE14 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF07 ,  4M104FF13 ,  4M104FF17 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG16 ,  4M104HH05 ,  4M104HH08 ,  4M104HH13 ,  4M104HH16 ,  4M104HH20 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH27 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ27 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033MM01 ,  5F033MM12 ,  5F033MM18 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN20 ,  5F033NN31 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ16 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ94 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033SS11 ,  5F033SS25 ,  5F033SS27 ,  5F033TT02 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033VV16 ,  5F033WW02 ,  5F033XX02 ,  5F033XX10 ,  5F033XX24 ,  5F033XX28 ,  5F033XX33 ,  5F040DC01 ,  5F040EA08 ,  5F040EA09 ,  5F040EC02 ,  5F040EC03 ,  5F040EC04 ,  5F040EC08 ,  5F040EC12 ,  5F040EC19 ,  5F040ED03 ,  5F040EF02 ,  5F040EH02 ,  5F040EH07 ,  5F040EK05 ,  5F040FA02 ,  5F040FA03 ,  5F040FA07 ,  5F040FB02 ,  5F040FC10 ,  5F048AA01 ,  5F048AA09 ,  5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AC01 ,  5F048BA01 ,  5F048BB08 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F048BB13 ,  5F048BB14 ,  5F048BC06 ,  5F048BF02 ,  5F048BF06 ,  5F048BF07 ,  5F048BF12 ,  5F048DA27 ,  5F083AD01 ,  5F083BS46 ,  5F083GA02 ,  5F083GA03 ,  5F083GA28 ,  5F083JA05 ,  5F083JA06 ,  5F083JA35 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA56 ,  5F083KA05 ,  5F083MA06 ,  5F083MA17 ,  5F083MA20 ,  5F083PR13 ,  5F083PR21 ,  5F083PR22 ,  5F083PR36 ,  5F083PR40 ,  5F083PR43 ,  5F083PR44 ,  5F083PR53 ,  5F083PR54 ,  5F083ZA06 ,  5F083ZA12