ファンフィルタユニット

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：岩橋文雄 , 内藤浩樹 , 永野大介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008091134
Publication number (International publication number)：2009240938
Application date： Mar. 31, 2008
Publication date： Oct. 22, 2009
Summary：

【課題】清浄空間を必要とするクリーンルームで搬送装置に使用されるファンフィルタユニットにおいて、ファンフィルタユニットの取り付けや除塵フィルタもしくはケミカルフィルタ等着脱を容易にすることを目的とする。【解決手段】ファン1とモータ2と除塵フィルタ4やケミカルフィルタ5を内包したチャンバ3とチャンバ側面に着脱扉7を備え、チャンバ内側面と着脱扉7の固定用突起部9で固定した、フレーム枠部10の突起部11、孔14および開口部12を有する除塵フィルタ4もしくはケミカルフィルタ5を開口部よりの着脱が可能になり、構造体への取り付け作業、フィルタ交換のスピード化、フィルタの誤設置の防止効果を得られる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ファンとモータからなるファンユニットとファンユニットの下方に除塵フィルタとケミカルフィルタを内包するチャンバと、この除塵フィルタの固定手段とチャンバ側面に前記除塵フィルタの着脱口および、着脱扉を有するファンフィルタユニット。

IPC (2)：

B01D 46/10 , F24F 7/06

FI (2)：

B01D46/10 B , F24F7/06 C

F-Term (12)：

3L058BE02 , 3L058BG03 , 4D058JA12 , 4D058KA04 , 4D058KB11 , 4D058KC02 , 4D058KC12 , 4D058KC81 , 4D058LA05 , 4D058QA01 , 4D058QA21 , 4D058SA04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

特開昭62-157127号公報

Cited by examiner (8)

ファンフィルタユニット
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-372103 Applicant：三共空調株式会社
半導体ウェハ収納容器内空気清浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-166606 Applicant：近藤工業株式会社, 日本ケンブリッジフィルター株式会社
車両用空気調和装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-300057 Applicant：日本電装株式会社

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