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J-GLOBAL ID:200903076521389690

回路シミュレーション方法および装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000074793
Publication number (International publication number):2001265826
Application date: Mar. 16, 2000
Publication date: Sep. 28, 2001
Summary:
【要約】【課題】対象配線の周囲に存在する周囲配線を含めてばらつき条件を考慮にいれた配線構造を生成し、この配線構造から配線容量を計算することにより、製造工程のばらつきを考慮して高精度で配線容量を抽出し、精度の高い遅延解析を行うことが可能な回路シミュレーション方法および装置を提供する。【解決手段】レイアウト情報格納手段11と、配線のばらつき情報を格納する配線ばらつき情報格納手段12と、プロセス情報格納手段13と、ばらつきを考慮した配線抵抗と配線容量を算出し、回路接続情報にこれらの配線抵抗と配線容量の情報を加味した配線抵抗と配線容量を含む回路接続情報を生成するばらつきを考慮した配線抵抗と配線容量抽出手段14とを備え、配線容量を高精度で取り込んで遅延解析を実行する。
Claim (excerpt):
製造による設計値からの寸法ばらつきを含めて配線の遅延解析を行う回路シミュレーション方法において、遅延解析を行う対象配線と隣接する対象隣接配線との対象配線構造をレイアウト情報から検索するステップと、前記対象配線の少なくとも配線幅のばらつき毎に配線抵抗を算出するステップと、単位長の基準配線と当該基準配線に隣接する基準隣接配線との位置関係を表す基準配線構造に対し、少なくとも複数の幅の当該基準配線に対する基準配線構造毎に、当該基準配線の配線容量を予め記憶する容量モデル情報より、前記対象配線構造と類似の前記基準配線構造を求め、求めた前記基準配線構造の前記基準配線の配線容量より、前記対象配線と前記対象隣接配線の少なくとも配線幅の寸法ばらつき毎に前記対象配線の配線容量を算出するステップと、前記対象配線の寸法ばらつき毎の配線抵抗と配線容量とを用いて前記対象配線の遅延解析を行うステップとを有することを特徴とする回路シミュレーション方法。
IPC (2):
G06F 17/50 ,  H01L 21/82
FI (3):
G06F 15/60 668 M ,  G06F 15/60 666 L ,  H01L 21/82 C
F-Term (11):
5B046AA08 ,  5B046JA04 ,  5B046JA07 ,  5F064EE02 ,  5F064EE03 ,  5F064EE08 ,  5F064EE42 ,  5F064EE43 ,  5F064EE47 ,  5F064HH06 ,  5F064HH09
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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