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J-GLOBAL ID：200903077393758200

球状デバイスの露光装置とその露光方法

Inventor：
城所 徹

About 城所 徹


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 畑 泰之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999345402
Publication number (International publication number)：2001167999
Application date： Dec. 03, 1999
Publication date： Jun. 22, 2001
Summary：
【要約】【課題】 球状デバイスを浮遊させて露光するようにした球状デバイスの露光装置を提供する。【解決手段】 前記球状デバイス1を所定の位置に浮遊させ、保持する第1の手段2と、前記球状デバイス1を回転させる第2の手段4と、前記球状デバイス1の位置と回転方向と回転速度を検出する第3の手段6と、前記球状デバイス1の露光面を露光せしめる第4の手段7とで構成したことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
球状デバイスの露光装置であって、前記球状デバイスを所定の位置に浮遊させ、保持する第1の手段と、前記球状デバイスを回転させる第2の手段と、前記球状デバイスの位置と回転方向と回転速度を検出する第3の手段と、前記球状デバイスの露光面を露光せしめる第4の手段とからなり、前記球状デバイスの回転に同期して露光するように構成したことを特徴とする球状デバイスの露光装置。
IPC (4)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/004 511 ,  G03F 7/24 ,  G03F 9/02
FI (6)：
G03F 7/004 511 ,  G03F 7/24 H ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 514 Z ,  H01L 21/30 515 Z ,  H01L 21/30 515 G
F-Term (13)：
2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025CC20 ,  2H025FA01 ,  2H025FA10 ,  5F046AA28 ,  5F046BA05 ,  5F046CC08 ,  5F046CC20 ,  5F046DA07 ,  5F046DA11 ,  5F046DA30 ,  5F046DB14
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (9)
  • 球状ICの露光方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-209476   Applicant：株式会社三井ハイテック
  • 球状デバイス露光装置及び製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-057609   Applicant：キヤノン株式会社
  • 球状デバイス露光装置及び製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-100178   Applicant：キヤノン株式会社
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