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J-GLOBAL ID：200903079315702292

加速度・角速度センサ

Inventor：
谷口 伸光

About 谷口 伸光

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松 良幸

About 松 良幸

, 
岡田 和廣

About 岡田 和廣


Applicant, Patent owner：
株式会社ワコー

About 株式会社ワコー


Agent (1)： 志村 浩
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002309447
Publication number (International publication number)：2004144598
Application date： Oct. 24, 2002
Publication date： May. 20, 2004
Summary：
【課題】配線を単純化する。【解決手段】導電材料からなる重錘体250を、可撓性をもった橋梁部261,262で宙づり状態に保持する。導電材料からなるブロック210,220を左右に配置し、重錘体250との間で容量素子を形成する。各ブロックは、上方基板本体110と下方基板本体310との間に挟まれて固定されるが、重錘体250は所定の自由度で変位する。重錘体250の上方および下方にも、電極E5,E6が設けられ、容量素子が形成される。重錘体250の変位を容量素子の静電容量値に基づいて検出する。ブロック210に対する配線は、上方基板本体110を貫通する配線用端子T1により行い、ブロック220に対する配線も所定箇所で同様に行う。電極E5,E6に対する配線は、ブロック225,215を利用して同様の方法で行う。重錘体250に対する配線は、導電性の橋梁部262を介して行う。【選択図】 図10
Claim (excerpt)：
所定間隔をおいて配置された上方基板および下方基板と、 前記上方基板および前記下方基板に挟まれた空間内で所定の自由度をもって変位可能となるように支持され、それぞれ電極として機能する4つの側面を有する重錘体と、 前記重錘体の側面の電極に対向する対向電極として機能する対向面を有し、前記上方基板および前記下方基板によって挟まれた位置に配置された第1〜第4のブロックと、 前記上方基板に形成した貫通孔を介して前記4組のブロックの上面に接触する配線用端子と、 を備え、 前記重錘体の4つの側面に形成された電極とその対向電極とによって4組の容量素子を構成し、この容量素子を利用して前記重錘体に作用した加速度もしくは角速度を検出できるようにし、 前記4組のブロックにおける、少なくとも、前記対向電極の部分およびこの対向電極とブロック上面とを電気的に導通させるために必要な部分を導電性材料から構成したことを特徴とする加速度センサまたは角速度センサ。
IPC (3)：
G01P15/125 ,  G01C19/56 ,  H01L29/84
FI (3)：
G01P15/125 Z ,  G01C19/56 ,  H01L29/84 Z
F-Term (18)：
2F105BB12 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA32 ,  4M112CA33 ,  4M112DA03 ,  4M112DA08 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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