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J-GLOBAL ID：200903080236405833

光変調器及び光変調器の製造方法

Inventor：
村田 昭浩

About 村田 昭浩


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (3)： 稲葉 良幸 ,  田中 克郎 ,  大賀 眞司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004064343
Publication number (International publication number)：2005250376
Application date： Mar. 08, 2004
Publication date： Sep. 15, 2005
Summary：
【課題】 本発明は、犠牲層をアンダーエッチングすることなく、簡便に精度よく光学ギャップを形成可能な光変調器を提供することを目的としている。 【解決手段】 底部が可動部109となる第一の凹部103が設けられ、可動部109に可動反射膜105が形成された第一の基板100と、第一の凹部103と対向する位置に第一の凹部103の径よりも小さい径を有する第二の凹部203が設けられ、第二の凹部203の底部に固定反射膜207が形成された第二の基板200と、を備え、第一の凹部103の深さが可動反射膜105の可動範囲を定め、可動反射膜105と固定反射膜207との間隔により光学ギャップXが定められる光変調器1により、上記課題を解決する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
底部が可動部となる第一の凹部が設けられ、前記可動部に可動反射膜が形成された第一の基板と、 前記第一の凹部と対向する位置に前記第一の凹部の径よりも小さい径を有する第二の凹部が設けられ、当該第二の凹部の底部に固定反射膜が形成された第二の基板と、を備え、 前記第一の凹部の深さが可動反射膜の可動範囲を定め、前記可動反射膜と前記固定反射膜との間隔により光学ギャップが定められることを特徴とする光変調器。
IPC (2)：
G02B26/00 ,  G02B5/28
FI (2)：
G02B26/00 ,  G02B5/28
F-Term (9)：
2H041AA21 ,  2H041AB15 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  2H048GA13 ,  2H048GA51 ,  2H048GA61
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • ファブリペローフィルタ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-371261   Applicant：横河電機株式会社
  • 米国特許第6341039号明細書
Cited by examiner (4)
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