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J-GLOBAL ID：200903085938258512

光変調装置及び光変調装置の製造方法

Inventor：
中村 亮介

About 中村 亮介

, 
黒沢 龍一

About 黒沢 龍一


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002089522
Publication number (International publication number)：2003287691
Application date： Mar. 27, 2002
Publication date： Oct. 10, 2003
Summary：
【要約】【課題】ミラーの強度を低下させることなく、省電力をはかることができる光変調装置と、その製造方法を提供すること。【解決手段】複数の駆動電極73,76が形成された電極基板70と、前記駆動電極に対応して設けられ傾斜駆動されることで、光源からの光を変調する複数のミラー21を備えるミラー基板20とを接合して形成される光変調装置であって、前記ミラー基板には、複数のミラー21がライン状もしくはマトリクス状に配置されており、前記複数のミラーが、前記ミラー基板と一体に形成されたトーションバー22により一方向に連結されていて、前記トーションバーが、前記ミラーの厚みよりも小さな外径となるように構成されている。
Claim (excerpt)：
複数の駆動電極が形成された電極基板と、前記駆動電極に対応して設けられ傾斜駆動されることで、光源からの光を変調する複数のミラーを備えるミラー基板とを接合して形成される光変調装置であって、前記ミラー基板には、複数のミラーがライン状もしくはマトリクス状に配置されており、前記複数のミラーが、前記ミラー基板と一体に形成されたトーションバーにより一方向に連結されていて、前記トーションバーが、前記ミラーの厚みよりも小さな外径となるように構成されていることを特徴とする、光変調装置。
IPC (4)：
G02B 26/08 ,  B81B 7/00 ,  B81C 1/00 ,  B81C 3/00
FI (4)：
G02B 26/08 E ,  B81B 7/00 ,  B81C 1/00 ,  B81C 3/00
F-Term (6)：
2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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