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J-GLOBAL ID：200903081546086912
撥水性酸化珪素皮膜
Inventor：
,
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大川 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998065902
Publication number (International publication number)：1999263860
Application date： Mar. 16, 1998
Publication date： Sep. 28, 1999
Summary：
【要約】【課題】ほぼ常温で形成され、かつフッ素を含有せずに、良好な透明性を有するとともに高い撥水性を有する酸化珪素皮膜を提供する。【解決手段】本発明の撥水性酸化珪素皮膜は、有機珪素化合物ガスを用いて低温プラズマにより生成された反応生成物を基材の表面上に堆積させることにより形成され、主として酸化珪素からなるとともに、凹凸の最大高低差が50〜330nmの範囲内にあって、かつ平均二乗面粗さの値が8〜45nmの範囲内にある表面形態を有することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
有機珪素化合物ガスを用いて低温プラズマにより生成された反応生成物を基材の表面上に堆積させることにより形成され、主として酸化珪素からなるとともに、凹凸の最大高低差が50〜330nmの範囲内にあって、かつ自乗平均平方根粗さの値が8〜45nmの範囲内にある表面形態を有することを特徴とする撥水性酸化珪素皮膜。
IPC (4)：
C08J 7/04
, C08J 7/00 306
, C08J 7/06
, C23C 16/42
C08J 7/04 Z
, C08J 7/00 306
, C08J 7/06 Z
, C23C 16/42
Cited by applicant (5)
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