超純水製造装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：重野剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996279434
Publication number (International publication number)：1998123118
Application date： Oct. 22, 1996
Publication date： May. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】 UV酸化装置とイオン交換塔とを備える超純水製造装置において、流入水のTOC濃度に対して、UVを過不足なく照射して、TOCを確実に酸化分解除去すると共に、DOの増加を防止し、低TOC,低DOの超純水を安定に製造する。【解決手段】イオン交換塔2の出口水のDO量;UV酸化装置1の入口水のDO量及びイオン交換塔2の出口水のDO量;或いはUV酸化装置1の入口水のTOC濃度を測定し、この測定値に基いてUV酸化装置1のUV照射量を制御する。【効果】過剰のUVを照射することによるDOの増加を防止して、低TOC,低DOの超純水を安定に製造することが可能となる。

Claim (excerpt)：

紫外線酸化装置とその後段のイオン交換塔とを備えてなる超純水製造装置において、該イオン交換塔の出口水の溶存酸素量を測定し、この測定結果に基いて該紫外線酸化装置の紫外線照射量を制御することを特徴とする超純水製造装置。

IPC (3)：

G01N 33/18 , C02F 1/32 , C02F 1/42

FI (4)：

G01N 33/18 B , G01N 33/18 D , C02F 1/32 , C02F 1/42 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

紫外線分解装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-000330 Applicant：オルガノ株式会社
特開平1-284385
超純水の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-301993 Applicant：日本錬水株式会社

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Cited by examiner (4)

紫外線分解装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-000330 Applicant：オルガノ株式会社
特開平1-284385
超純水の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-301993 Applicant：日本錬水株式会社

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