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J-GLOBAL ID：200903081597942953

窒化ガリウム系発光素子

Inventor：
落合 真尚

About 落合 真尚


Applicant, Patent owner：
日亜化学工業株式会社

About 日亜化学工業株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001202726
Publication number (International publication number)：2002100830
Application date： Jul. 03, 2001
Publication date： Apr. 05, 2002
Summary：
【要約】【課題】 高出力動作時における端面破壊を抑制して寿命を向上させ、かつ、スロープ効率の高い、高信頼性の窒化ガリウム系発光素子を提供すること。【解決手段】 光出射側鏡面には、窒化ガリウムより低い屈折率を有する1層以上の低反射膜が、光出射側鏡面から屈折率が順に低くなるように積層され、光出射側鏡面の直上の第1の低反射膜が、ZrO2,MgO,Al2O3,Si3N4,AlN,及びMgF2から選ばれたいずれか1種の材料から形成されている。さらに、光反射側鏡面には、ZrO2,MgO,Si3N4,AlN及びMgF2から選ばれたいずれか1種からなる保護膜が形成され、かつ、保護膜の上に低屈折率層と高屈折率層とを交互に積層してなる高反射膜が形成されている。
Claim (excerpt)：
ストライプ状の発光層の両端面に、光出射側鏡面と光反射側鏡面を持つ共振器構造を有する窒化ガリウム系発光素子において、光出射側鏡面に、窒化ガリウムより低い屈折率を有する2層以上の低反射膜が、該光出射側鏡面から屈折率が順に低くなるように積層され、該光出射側鏡面の直上の第1の低反射膜が、ZrO2,MgO,Al2O3,Si3N4,AlN及びMgF2から選ばれたいずれか1種からなる窒化ガリウム系発光素子。
IPC (2)：
H01S 5/028 ,  H01L 21/205
FI (2)：
H01S 5/028 ,  H01L 21/205
F-Term (35)：
5F045AA04 ,  5F045AB09 ,  5F045AB14 ,  5F045AB17 ,  5F045AB21 ,  5F045AB26 ,  5F045AB32 ,  5F045AB33 ,  5F045AB37 ,  5F045AB40 ,  5F045AC01 ,  5F045AC08 ,  5F045AC12 ,  5F045AC19 ,  5F045AD12 ,  5F045AD14 ,  5F045BB16 ,  5F045CA10 ,  5F045CA12 ,  5F045DA52 ,  5F045DA53 ,  5F045DA55 ,  5F045DA64 ,  5F045EB13 ,  5F045HA16 ,  5F073AA13 ,  5F073AA74 ,  5F073AA84 ,  5F073CA07 ,  5F073CB02 ,  5F073CB20 ,  5F073DA07 ,  5F073DA32 ,  5F073DA33 ,  5F073EA28
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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