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J-GLOBAL ID：200903082056434730

化学的気相成長装置

Inventor：
谷本 智

About 谷本 智


Applicant, Patent owner：
日産自動車株式会社

About 日産自動車株式会社


Agent (1)： 三好 秀和 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997280884
Publication number (International publication number)：1999117070
Application date： Oct. 14, 1997
Publication date： Apr. 27, 1999
Summary：
【要約】【課題】 本発明は、成膜時間の短縮及び原料の節約を達成することを目的とする。【解決手段】 化学的蒸気を輸送する輸送管途上に配設され、入口バルブ17a、17b、17cの閉口時には対応する原料蒸気発生器16a、16b、16cで発生した化学的蒸気を一時的に貯蔵、入口バルブ17a、17b、17cの開口時には当該原料蒸気発生器16a、16b、16cで発生した化学的蒸気とともに一時的に貯蔵した化学的蒸気を反応器10に送出する原料蒸気貯蔵容器18a、18b、18cを有することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
種類の異なる化学的蒸気を複数の原料蒸気発生器でそれぞれ発生させ、該発生させた化学的蒸気を輸送管で輸送し、入口バルブを間欠的に開閉動作させて複数の前記化学的蒸気の少なくとも1種を反応器に周期的に導入し、該反応器に内置した加熱基板に薄膜を成膜する化学的気相成長装置において、前記輸送管途上に配設され、前記入口バルブの閉口時には対応する前記原料蒸気発生器で発生した化学的蒸気を一時的に貯蔵し、前記入口バルブの開口時には当該原料蒸気発生器で発生した化学的蒸気とともに前記一時的に貯蔵した化学的蒸気を前記反応器に送出する原料蒸気貯蔵容器を有することを特徴とする化学的気相成長装置。
IPC (2)：
C23C 16/44 ,  C30B 25/14
FI (3)：
C23C 16/44 C ,  C23C 16/44 D ,  C30B 25/14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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