Pat
J-GLOBAL ID：200903082150976911

炭素膜

Inventor：
織田 一彦

About 織田 一彦

, 
大原 久典

About 大原 久典

, 
内海 慶春

About 内海 慶春


Applicant, Patent owner：
住友電気工業株式会社

About 住友電気工業株式会社


Agent (2)： 稲岡 耕作 ,  川崎 実夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007271447
Publication number (International publication number)：2008106361
Application date： Oct. 18, 2007
Publication date： May. 08, 2008
Summary：
【課題】ダイヤモンド膜あるいはダイヤモンド状炭素膜に代わって、工具、金型、機械部品などの耐磨耗性および耐久性を向上させるための炭素膜を提供する。 【解決手段】カソードアークイオンプレーティング法で、固体炭素である等方性グラファイトを原料とし、真空度0.05Pa以下の雰囲気下で、合成温度100〜300°Cで成膜され、密度が2.8〜3.3g/cm3、スピン密度が1×1018〜1×1021spins/cm3、ヌープ硬度が1500〜6000である炭素膜。炭素濃度が99.5原子%以上、水素濃度が0.5原子%以下、希ガス元素濃度が0.5原子%以下、ヌープ硬度が2000〜6000であることが好ましい。この炭素膜が被覆された炭素膜被覆部材は、耐磨耗性および耐久性に優れている。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
カソードアークイオンプレーティング法で、等方性グラファイトを原料とし、真空度0.05Pa以下の雰囲気下で、合成温度100〜300°Cで成膜された、密度が2.8g/cm3以上3.3g/cm3以下、スピン密度が1×1018spins/cm3以上1×1021spins/cm3以下、ヌープ硬度が1500以上6000以下である炭素膜。
IPC (3)：
C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  B23B 51/00
FI (3)：
C23C14/06 F ,  B23B27/14 A ,  B23B51/00 J
F-Term (21)：
3C037CC01 ,  3C037CC09 ,  3C046FF12 ,  3C046FF19 ,  3C046FF23 ,  3C046FF24 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA34 ,  4K029BB10 ,  4K029BD03 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029DB05 ,  4K029DD06 ,  4K029EA03 ,  4K029EA05 ,  4K029EA08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
Show all
Article cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM