光導波路の製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：梶原康稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997116513
Publication number (International publication number)：1998293221
Application date： Apr. 19, 1997
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】短時間で安価に高い加工精度で光導波路を製造することができる生産性に優れた光導波路の製造方法を提供する。【解決手段】基板10の主面上に、光導波路のコアに相当する導波層12を印刷により形成する。印刷による方法は形成精度が低いため、導波層12の形状は必ずしも良好とは言えず、例えば側面に不要な端部12A,12Bができる。そこで、印刷した導波層12の側面にレーザ光Lを照射し、導波層12に沿って走査することで、導波層12の端部12A,12Bを除去する加工が行われる。これにより、導波層12の端部12A,12Bが良好に除去されてコア部14が形成される。そして、これらコア14部上に、例えばスピンコート法によりクラッド部16を形成する。

Claim (excerpt)：

基板上に高屈折率材料によって導波路を形成する光導波路の製造方法において、前記高屈折率材料を印刷して導波層を形成する第1のステップ;これによって形成された導波層をレーザにより加工して導波路を形成する第2のステップ;を備えたことを特徴とする光導波路の製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

ガーネツト導波路の加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-072091 Applicant：日本電信電話株式会社
特開昭64-031587
三次元光導波路およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-284894 Applicant：日本電信電話株式会社

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