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J-GLOBAL ID：200903082692231092

洩れ検査方法及び洩れ検査装置

Inventor：
飯田 明由

About 飯田 明由

, 
金野 祥久

About 金野 祥久

, 
半田 哲也

About 半田 哲也


Applicant, Patent owner：
株式会社ナック

About 株式会社ナック


Agent (4)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006159087
Publication number (International publication number)：2007327849
Application date： Jun. 07, 2006
Publication date： Dec. 20, 2007
Summary：
【課題】洩れ検査時の測定対象容器と基準容器との差圧の温度補正ができ、洩れ検査の精度を上げる洩れ検査装置及び洩れ検査方法。【解決手段】ワーク容器66とマスタ容器80の空気を平衡状態とした後に、これらの間を遮断し、マスタ容器80内部及びワーク容器66内部の空気温度T1、T2が測定される。その後、マスタ容器80内部及びワーク容器66内部の空気温度T3、T4が測定される。また、差圧測定部42で、ワーク容器66内部とマスタ容器80内部の空気圧力との測定差圧PAが測定される。判定ユニット78では、これらの測定データを用いて理論差圧が求められ、測定差圧との差によりワーク容器66の洩れの有無の判定を行う。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
気体供給源から測定対象容器及び基準容器に気体を供給し、前記測定対象容器の内部の気体と前記基準容器の内部の気体とを所定の平衡圧力P0の平衡状態とするとともに、前記測定対象容器及び前記基準容器における気体の流入及び流出を遮断する気体供給手段と、 前記測定対象容器の内部の気体の圧力と前記基準容器の内部の気体の圧力との測定差圧PAを求める差圧測定手段と、 前記基準容器の内部の気体の温度を測定する第1温度測定手段と、 前記測定対象容器の内部の気体の温度を測定する第2温度測定手段と、 前記基準容器における前記平衡状態から所定時間t経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力P0に基づいて定められる気体の圧力を理論圧力P1とし、 前記測定対象容器における前記平衡状態から所定時間t経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力P0に基づいて定められる気体の圧力を理論圧力P2として、前記理論圧力P1と前記理論圧力P2との差である理論差圧PBと前記測定差圧PAとを比較して、前記測定対象容器の洩れの有無を判定する判定手段と、 を備えたことを特徴とする洩れ検査装置。
IPC (1)：
G01M 3/26
FI (1)：
G01M3/26 A
F-Term (6)：
2G067AA44 ,  2G067BB28 ,  2G067BB30 ,  2G067CC04 ,  2G067DD03 ,  2G067EE10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • リ-クテスタ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-005533   Applicant：トヨタ自動車株式会社, 豊通エンジニアリング株式会社
  • 洩れ検査装置の校正方法、洩れ検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-182206   Applicant：株式会社コスモ計器
Cited by examiner (8)
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