極端紫外光源装置用ドライバーレーザ及びLPP型極端紫外光源装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (3)：宇都宮正明 , 渡部温 , 柳瀬睦肇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005230619
Publication number (International publication number)：2006135298
Application date： Aug. 09, 2005
Publication date： May. 25, 2006
Summary：

【課題】短パルス化とマルチライン発振を同時に達成するEUV光源装置用ドライバーレーザを実現する。【解決手段】このドライバーレーザは、出力されるレーザ光を短パルス化する手段と、エネルギーピーク値を示す発振スペクトルの発振を抑制する手段とを有する短パルス・マルチライン発振CO2レーザ発振器と、該短パルス・マルチライン発振CO2レーザ発振器から出力された短パルス化されたレーザ光を入力し、増幅して出力する少なくとも1台の増幅器を含む。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

出力されるレーザ光を短パルス化する手段と、エネルギーピーク値を示す発振スペクトルの発振を抑制する手段とを有する短パルス・マルチライン発振CO2レーザ発振器と、前記短パルス・マルチライン発振CO2レーザ発振から出力された短パルス化されたレーザ光を入力し、該レーザ光を増幅して出力する少なくとも1つの増幅器と、を具備する極端紫外光源装置用ドライバーレーザ。

IPC (4)：

H01S 3/10 , H01L 21/027 , H05G 2/00 , H01S 3/227

FI (5)：

H01S3/10 Z , H01L21/30 515A , H01L21/30 531S , H05G1/00 K , H01S3/22 M

F-Term (21)：

4C092AA06 , 4C092AA14 , 4C092AA17 , 4C092AB21 , 4C092AC09 , 5F046CA08 , 5F046DA01 , 5F046GC03 , 5F071AA05 , 5F071HH07 , 5F071HH09 , 5F071JJ07 , 5F071JJ10 , 5F172AD05 , 5F172NN16 , 5F172NN23 , 5F172NQ43 , 5F172NQ44 , 5F172NQ46 , 5F172NQ48 , 5F172ZZ02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

米国特許6,697,408(図5)

Cited by examiner (7)

特開昭56-006491
光源装置及びそれを用いた露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-183025 Applicant：ギガフォトン株式会社
パルスレーザ発生装置及びそれを利用したX線発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-222246 Applicant：住友重機械工業株式会社

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