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J-GLOBAL ID：200903084649315420

物体測定装置

Inventor：
羽根渕 昌明

About 羽根渕 昌明


Applicant, Patent owner：
株式会社ニデック

About 株式会社ニデック


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005194457
Publication number (International publication number)：2007010589
Application date： Jul. 01, 2005
Publication date： Jan. 18, 2007
Summary：
【課題】 スペクトル干渉を用いて被検物体の諸情報を取得する装置において、簡単な構成で精度よく被検物体の諸情報を取得可能な物体測定装置を提供する。【解決手段】 低コヒーレント長の光束を出射する光源を有し,光源から出射した光束を被検物体と参照面とに向けて出射し,被検物体からの反射光と参照面からの反射光とを合成して干渉させる干渉光学系と、干渉光学系にて得られた干渉光を周波数成分に分光する分光手段と,分光手段により周波数成分に分光された各光束を時系列的に分ける時分割手段と,時分割手段に分けられた各光束を受光する単一の受光素子とを有するスペクトロメータ部と、スペクトロメータ部による受光信号に基づいて演算により被検物体の深さ方向の情報を取得する演算制御部と、を備える。【選択図】 図7
Claim (excerpt)：
低コヒーレント長の光束を出射する光源を有し,該光源から出射した前記光束を被検物体と参照面とに向けて出射し,前記被検物体からの反射光と前記参照面からの反射光とを合成して干渉させる干渉光学系と、該干渉光学系にて得られた干渉光を周波数成分に分光する分光手段と,該分光手段により周波数成分に分光された各光束を時系列的に分ける時分割手段と,該時分割手段に分けられた前記各光束を受光する単一の受光素子とを有するスペクトロメータ部と、該スペクトロメータ部による受光信号に基づいて演算により被検物体の深さ方向の情報を取得する演算制御部と、を備えることを特徴とする物体測定装置
IPC (2)：
G01N 21/17 ,  G01B 11/02
FI (2)：
G01N21/17 625 ,  G01B11/02 G
F-Term (34)：
2F065AA21 ,  2F065CC16 ,  2F065FF51 ,  2F065GG00 ,  2F065GG03 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL08 ,  2F065LL13 ,  2F065LL28 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL67 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ16 ,  2G059AA05 ,  2G059AA06 ,  2G059BB12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE11 ,  2G059FF02 ,  2G059GG02 ,  2G059GG04 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (8)
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