石英ガラス表面のフロスト処理液、その使用方法及び該処理液で処理された石英ガラス

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高雄次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001244299
Publication number (International publication number)：2002308649
Application date： Aug. 10, 2001
Publication date： Oct. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】石英ガラス表面を所要の凹凸をなすようにするフロスト処理をフロスト処理液のみで短時間で可能とし得る石英ガラス表面のフロスト処理液を提供する。【解決手段】フッ化水素、リン酸水素二アンモニウム及び水の混合液からなる。

Claim (excerpt)：

フッ化水素、リン酸水素二アンモニウム及び水の混合液からなることを特徴とする石英ガラス表面のフロスト処理液。

IPC (2)：

C03C 15/00 , H01L 21/3065

FI (2)：

C03C 15/00 B , H01L 21/302 B

F-Term (6)：

4G059AA08 , 4G059AB09 , 4G059AC02 , 4G059BB16 , 5F004BB29 , 5F004BD04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

半導体の製造中に使用するための石英ガラス部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-081029 Applicant：信越石英株式会社, ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
ドライエッチング用シリカガラス容器及びその製造方法、並びに前記シリカガラス容器を備えたドライエッチング装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-337697 Applicant：信越石英株式会社, 株式会社山形信越石英, 株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社
石英ガラス表面処理液およびその使用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-083578 Applicant：信越石英株式会社

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