感光性耐熱性樹脂前駆体組成物

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999128166
Publication number (International publication number)：2000039714
Application date： May. 10, 1999
Publication date： Feb. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物、(c)硬化剤を含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する4価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基である。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。m+p+qは1以上の整数を示す。)

Claim (excerpt)：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物、(c)硬化剤を含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基である。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。m+p+qは1以上の整数を示す。)

IPC (12)：

G03F 7/037 501 , C08K 5/28 , C09D 5/00 , G03F 7/022 , H01L 21/027 , H01L 21/312 , H01L 23/29 , H01L 23/31 , C08L 79/08 , C09D179/04 , C09D179/08 , C08L 63:00

FI (10)：

G03F 7/037 501 , C08K 5/28 , C09D 5/00 Z , G03F 7/022 , H01L 21/312 D , C08L 79/08 A , C09D179/04 Z , C09D179/08 Z , H01L 21/30 502 R , H01L 23/30 D

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

特開平3-020743
化学線感応性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-043705 Applicant：東レ株式会社
感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-134357 Applicant：チッソ株式会社

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Cited by examiner (11)

ポジ型耐熱性感光性重合体組成物及びレリーフパターンの製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-167464 Applicant：日立化成工業株式会社
化学線感応性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-043705 Applicant：東レ株式会社
パターン形成用感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-023585 Applicant：株式会社巴川製紙所

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