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J-GLOBAL ID:200903087040135590
基板処理装置および基板処理方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
高山 宏志
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002004971
Publication number (International publication number):2003209154
Application date: Jan. 11, 2002
Publication date: Jul. 25, 2003
Summary:
【要約】【課題】 検査/測定装置に故障が生じた際にも基板の処理を続行することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。【解決手段】 レジスト塗布/現像処理システム1は、カセットステーション11と、処理ステーション13と、検査ステーション12を具備する。検査ステーション12は、例えば欠陥検査ユニット(ADI)と、ダミー検査ユニット(DMM-A)と、バイパス検査ユニット(BMM-A)と、主ウエハ搬送装置31とを有する。ウエハWの抜き取り検査を行う場合に、欠陥検査ユニット(ADI)が故障した際には検査用ウエハWをバイパス検査ユニット(BMM-A)に載置し、検査用ウエハWを除く残りの基板を検査ステーション12に搬送された順序に従ってダミー検査ユニット(DMM-A)に載置し、検査ステーション12に搬入された順序でウエハWをカセットステーション11へ搬出する。
Claim (excerpt):
基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、複数の基板が収容されたカセットを載置するカセットステーションと、前記カセットから搬出された基板に対して所定の処理を施す処理ステーションと、前記処理ステーションにおける処理が終了した基板に対して所定の検査/測定を行う検査ステーションと、前記カセットステーション、前記処理ステーションおよび前記検査ステーションの間で基板を搬送する基板搬送手段と、を具備し、前記検査ステーションは、前記処理ステーションから前記検査ステーションに搬送された基板に対して所定の検査/測定を行う検査/測定ユニットと、前記検査/測定ユニットと並列に設けられ、前記検査/測定ユニットに基板を搬入することができない事情が生じている場合に、前記検査/測定ユニットによる検査/測定を行う予定の基板が臨時に搬入される臨時基板載置ユニットと、を有し、前記検査/測定ユニットに基板を搬入することができない事情が生じている場合に、前記基板搬送手段は、前記処理ステーションから前記臨時基板載置ユニットを経て前記カセットステーションへ基板を搬送することを特徴とする基板処理装置。
IPC (3):
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/027
FI (3):
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 E
, H01L 21/30 562
F-Term (39):
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031GA03
, 5F031GA35
, 5F031GA36
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031JA02
, 5F031JA04
, 5F031JA13
, 5F031JA21
, 5F031JA22
, 5F031JA27
, 5F031JA31
, 5F031JA32
, 5F031JA45
, 5F031KA03
, 5F031KA12
, 5F031KA20
, 5F031LA07
, 5F031MA24
, 5F031MA26
, 5F031MA27
, 5F031MA30
, 5F031MA33
, 5F031PA10
, 5F031PA30
, 5F046CD01
, 5F046JA04
, 5F046KA04
, 5F046LA01
, 5F046LA18
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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基板処理装置及び基板処理システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-352708
Applicant:大日本スクリーン製造株式会社
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基板製造ラインおよび基板製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-039215
Applicant:平田機工株式会社
-
基板搬送方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-105279
Applicant:株式会社ニコン
-
異物除去機能付き静電吸着装置を備えた半導体製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-250269
Applicant:株式会社日立製作所
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Cited by examiner (4)