トーションバーを用いた静電駆動型マイクロミラーデバイス

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小沢信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004140525
Publication number (International publication number)：2005321663
Application date： May. 11, 2004
Publication date： Nov. 17, 2005
Summary：

【課題】 MEMSによって製作されるマイクロミラーデバイスは、低電圧駆動で、大きな回転角を得ることを求められるので、ミラーを支えるトーションバーを柔らかくするようにしているが、ミラー回転以外の変位も発生し易くなる。この変位は、デバイスの動作範囲を制限するため、大きなミラー回転角を得ることが困難であった。【解決手段】本発明はトーションバーに張力を加えることによって、回転方向に比較して上下左右方向の剛性を高めることで、問題を解決したものである。引っ張り応力を加える方法は、引張応力の入ったシリコン窒化膜の薄膜でトーションバーを形成する方法、トーションバーに応力が加わっていない状態で微細加工を施し、イオンやラジカルを照射することでトーションバーに応力を発生させ、合力としてトーションバーに沿った張力を発生させる方法、等の各種の手法を適用することが出きる【選択図】図1

Claim (excerpt)：

マイクロミラーと一体に形成され該マイクロミラーを回転可能に支持するトーションバーを用いた静電駆動型マイクロミラーデバイスにおいて、前記トーションバーに張力を持たせてミラーを支持させることにより、回転方向に柔らかく上下左右方向には剛性を高くして、安定にミラーの回転動作が得られるようにしたことを特徴とするトーションバーを用いた静電駆動型マイクロミラーデバイス。

IPC (2)：

G02B26/08 , B81B3/00

FI (2)：

G02B26/08 E , B81B3/00

F-Term (4)：

2H041AA13 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (10)

SOI材料上のマイクロミラー及びMEMSアセンブリ用の単結晶シリコンリボンヒンジ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-356890 Applicant：ゼロックス・コーポレーション
MEMSドライバ回路の構成
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-214618 Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレーテッド, アギアシステムズガーディアンコーポレーション
光スイッチ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-183257 Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド

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Cited by examiner (6)

光走査装置、光走査モジュール及び画像形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-022274 Applicant：株式会社リコー
マイクロ構造体、マイクロ力学量センサ、マイクロアクチュエータ、マイクロ光偏向器、光走査型ディスプレイ、及びそれらの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-301663 Applicant：キヤノン株式会社
マイクロ部品接続装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-207471 Applicant：三菱電機株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

引張応力のあるトーションバーを用いた静電駆動型ミラーデバイス

Cited by examiner (1)

引張応力のあるトーションバーを用いた静電駆動型ミラーデバイス

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