一体的な光共振器、光スキャナエンジンおよびそれにおける使用に適した走査光線を発生するための方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：深見久郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998121287
Publication number (International publication number)：1998325935
Application date： Apr. 30, 1998
Publication date： Dec. 08, 1998
Summary：

【要約】【課題】光スキャナエンジンおよび走査システムにおける使用に適した一体化されたマイクロ電気機械(MEM)光共振器および方法を提供する。【解決手段】一体化された光共振器は、基板(14)と、基板(14)の一方端に取付けられた片持ち梁(10)と、片持ち梁(10)に取付けられ第1の電気励振に応答する第1のバイモルフアクチュエータとを含み、梁(10)の少なくとも一部分は反射表面を有し、アクチュエータは第1の励振に従って梁(10)を移動させる。

Claim (excerpt)：

一体的な光共振器であって、基板と、前記基板に一方端が取付けられた片持ち梁とを含み、前記梁の少なくとも一部分は反射表面を有し、さらに前記片持ち梁に取付けられ、第1の電気励振に応答する第1のバイモルフアクチュエータを含み、前記アクチュエータは前記第1の励振に従って前記梁を移動させる、共振器。

IPC (4)：

G02B 26/10 101 , H01L 21/308 , H01L 41/09 , H01L 41/18

FI (4)：

G02B 26/10 101 , H01L 21/308 B , H01L 41/08 M , H01L 41/18 101 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

レーザビーム走査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-307220 Applicant：ザウィタカーコーポレーション
圧電駆動マイクロスキャナ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-004526 Applicant：松下電器産業株式会社
特開平4-342221

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